[实用新型]一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构有效
| 申请号： | 201821230894.3 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208400822U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李聪盛;陈琮岳 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 壳体 离子风刀 支撑板 滑杆 机台 本实用新型 上端固定 湿式制程 安装板 出料端 出料口 连接杆 通孔 右壁 电机 加工元件表面 加工元件 输出轴端 微尘粒子 螺纹杆 上表面 下端 制程 传送 穿过 延伸 | ||
1.一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，包括壳体(1)和用于传送加工元件(2)的传动机构(3)，其特征在于，所述壳体(1)的右壁中部开设有出料口(4)，所述传动机构(3)设置在壳体(1)的内侧，所述传动机构(3)的右端穿过出料口(4)并延伸至壳体(1)右侧，所述壳体(1)的右壁上端固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的上表面固定安装有电机(6)，所述电机(6)的输出轴端固定连接有螺纹杆(7)，所述支撑板(5)的两侧均开设有通孔(8)，所述通孔(8)内设有滑杆(9)，所述滑杆(9)的上端固定连接有限位板(10)，所述滑杆(9)的下端固定连接有安装板(11)，所述安装板(11)的上表面开设有螺纹孔(12)，所述螺纹孔(12)与螺纹杆(7)螺纹配合，所述安装板(11)的右侧固定连接有连接杆(13)，所述连接杆(13)的右侧固定安装有离子风刀(14)。
2.根据权利要求1所述的一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，其特征在于，所述螺纹孔(12)贯穿安装板(11)的上表面和底面。
3.根据权利要求1所述的一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，其特征在于，所述螺纹孔(12)与螺纹杆(7)螺纹配合。
4.根据权利要求1所述的一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，其特征在于，所述离子风刀(14)的风口朝向垂直于传动机构(3)的上表面。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
