[实用新型]一种用于硅片贴膜上的固定装置有效

申请号：	201820959491.6	申请日：	2018-06-21
公开（公告）号：	CN208478310U	公开（公告）日：	2019-02-05
发明（设计）人：	张春林	申请（专利权）人：	苏州斯洋电子科技有限公司
主分类号：	H01L21/68	分类号：	H01L21/68;H01L21/67
代理公司：	苏州广正知识产权代理有限公司 32234	代理人：	张汉钦
地址：	215000 江苏省苏州***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	硅片导引贴膜底座固定装置前导向块导引块支撑柱防呆本实用新型治具底板边缘处限位块发生移动辅助作用划伤竖立
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【权利要求书】：

1.一种用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，包括治具底板、支撑柱、导引底座、防呆导引块、限位块和前导向块，所述支撑柱竖立在所述治具底板的上部，所述导引底座位于所述支撑柱上，所述防呆导引块位于所述导引底座的上部一边缘处，所述限位块位于所述导引底座上，所述导引底座四个方向上的边缘处至少设置有一前导向块。

2.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，所述支撑柱为4个，所述4个支撑柱位于所述治具底板的四角。

3.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，所述治具底板、所述支撑柱和所述导引底座间是通过螺栓固定连接的。

4.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，所述防呆导引块的形状为L型。

5.根据权利要求1所述的用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，所述导引底座的表面是下凹设置。

6.根据权利要求5所述的用于硅片贴膜上的固定装置，其特征在于，所述限位块位于所述下凹处。

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