[实用新型]用于镀膜的承载托盘、硅片承载装置及硅片传输系统

说明书

本实用新型公开了一种用于镀膜的承载托盘、硅片承载装置及硅片传输系统，其中承载托盘包括：盖板，所述盖板设有贯通的第一沉积窗口，且所述第一沉积窗口的纵截面为矩形；底板，所述底板设有贯通的第二沉积窗口，所述第二沉积窗口的开口尺寸大于所述第一沉积窗口，且在所述第二沉积窗口的内壁上设有用于承载硅片的承托部；所述盖板与所述底板通过连接件配合。本实用新型实现了在双面镀膜过程中无需繁琐拆卸，仅需直接旋转承载托盘即可满足双面沉积工艺的需求，既节省人工成本，又简化操作流程，同时也减少操作人员直接接触硅片的机会，降低了硅片损毁率，因而能够有效提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及硅基光伏组件制造领域，尤其涉及一种用于镀膜的承载托盘、硅片承载装置及硅片传输系统。

背景技术

双面太阳能电池在生产过程中，由于需要在硅片两面进行镀膜工艺，通常是由操作人员将电池硅片放置于硅片传输系统中的托盘内，托盘底部为封闭结构，在完成一面沉积后必须由人工将硅片进行翻面，重新放置于托盘内并再次传输到镀膜设备进行另一面的镀膜工艺，以此完成双面镀膜。

可见，由人工进行托盘内的硅片翻转操作，既繁琐耗时，并且操作中易出现碎片现象，导致生产成本增高、但生产效率降低。

实用新型内容

鉴于上述，本实用新型的目的是提供一种用于镀膜的承载托盘、硅片承载装置及硅片传输系统，借助两个沉积窗口实现托盘的上下贯通，以解决现有技术需直接接触硅片进行手动翻转所带来的弊端。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种用于镀膜的承载托盘，包括：

盖板，所述盖板设有贯通的第一沉积窗口，且所述第一沉积窗口的纵截面为矩形；

底板，所述底板设有贯通的第二沉积窗口，所述第二沉积窗口的开口尺寸大于所述第一沉积窗口，且在所述第二沉积窗口的内壁上设有用于承载硅片的承托部；

所述盖板与所述底板通过连接件配合。

可选地，所述承托部位于所述第二沉积窗口的内壁的中部。

可选地，所述承托部位于所述第二沉积窗口的内壁的底部。

可选地，在所述盖板上设有定位销，且在所述底板上设有与所述定位销配合的定位孔。

可选地，所述连接件包括磁吸装置、螺接装置和锁扣装置中的至少一种。

可选地，所述底板与所述承托部一体成型。

可选地，所述盖板和所述底板的材质为石墨或碳纤维或铝合金或不锈钢。

可选地，所述第二沉积窗口的各相邻内壁上的承托部相互连接。

可选地，所述承托部为沿所述第二沉积窗口的内壁的垂直方向设置的凸块。

可选地，所述承托部包括多个独立的承托件。

可选地，各相邻所述承托件的间距相等。

一种硅片承载装置，包括载板，还包括上述承载托盘，所述承载托盘放置于所述载板上，且所述底板与所述载板相接。

可选地，放置在所述载板上的多个所述承载托盘呈矩阵排列。

一种硅片传输系统，包括传输装置，还包括上述承载托盘，所述传输装置用于传输所述承载托盘。

一种硅片传输系统，包括传输装置，还包括上述硅片承载装置，所述传输装置用于传输所述硅片承载装置。