[发明专利]一种基于N型掺杂叠层和功能层的发光二极管在审
| 申请号: | 201811525634.3 | 申请日: | 2018-12-13 | 
| 公开(公告)号: | CN111326628A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 | 
| 发明(设计)人: | 李建华;李全杰;刘向英 | 申请(专利权)人: | 西安智盛锐芯半导体科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/06 | 
| 代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 毋雪 | 
| 地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 掺杂 功能 发光二极管 | ||
1.一种基于N型掺杂叠层和功能层的发光二极管,其特征在于,包括:
衬底层(11);
缓冲层(12),位于所述衬底层(11)上;
N型半导体层(13),位于所述缓冲层(12)上;
N型掺杂叠层(14),位于所述N型半导体层(13)上,所述N型掺杂叠层(14)包括若干第一N型掺杂层(141)和若干第二N型掺杂层(142),其中,若干所述第一N型掺杂层(141)和若干所述第二N型掺杂层(142)依次层叠于所述N型半导体层(13)上,且所述第一N型掺杂层(141)的掺杂浓度大于所述第二N型掺杂层(142);
量子阱发光层(15),位于所述N型掺杂叠层(14)上;
功能层(16),位于所述量子阱发光层(15)上,其中,所述功能层(16)包括依次层叠于量子阱发光层(15)上的电子阻挡层(161)、第一空穴注入层(162)和第二空穴注入层(163),其中,所述第一空穴注入层(162)的厚度小于所述第二空穴注入层(163)的厚度;
P型掺杂层(17),位于所述功能层(16)上;
P型半导体层(18),位于所述P型掺杂层(17)上。
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第一N型掺杂层(141)为N型InGaN层。
3.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第一N型掺杂层(141)的掺杂元素为Si,所述第一N型掺杂层(141)的掺杂浓度为1018cm-3-5×1018cm-3。
4.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第二N型掺杂层(142)为N型AlGaN层。
5.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第二N型掺杂层(142)的掺杂元素为Si,所述第二N型掺杂层(142)的掺杂浓度为1017cm-3-5×1017cm-3。
6.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第一N型掺杂层(141)和所述第二N型掺杂层(142)的掺杂浓度均低于N型半导体层(13)的掺杂浓度。
7.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述电子阻挡层(161)的材料为AlxInyGa1-x-yN,其中,0x≤0.4,0y≤0.2。
8.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第一空穴注入层(162)为P型InGaN层。
9.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第二空穴注入层(163)为P型AlGaN层。
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