[发明专利]示教方法

权利要求书

1.一种示教方法，是一种将基板搬送到载置台的搬送机构的示教方法，包括以下步骤：

位置对准步骤，进行在外周缘部具有多个摄影单元的检查用基板的位置对准，在所述位置对准步骤中，所述搬送机构以所述检查用基板的中心位置和切口的方向成为规定位置和规定方向的方式支承所述检查用基板；

搬送步骤，所述搬送机构将支承的所述检查用基板搬送到在所述搬送机构与所述载置台之间交接所述基板的交接位置；

摄影步骤，在所述交接位置由所述多个摄影单元拍摄所述载置台的包含外周的一部分；

计算步骤，基于由所述多个摄影单元拍摄到的图像，来计算所述载置台的中心位置；以及

校正步骤，基于在所述计算步骤中计算出的所述载置台的中心位置以及在所述交接位置的所述检查用基板的中心位置，来对所述交接位置进行校正，

按所述搬送步骤、所述摄影步骤、所述计算步骤以及所述校正步骤的顺序反复执行这些步骤。

2.根据权利要求1所述的示教方法，其特征在于，

所述多个摄影单元被配置在同一圆周上。

3.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述多个摄影单元同时拍摄所述载置台的不同的部分。

4.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述摄影单元经由反射单元来拍摄所述载置台。

5.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述载置台被设置在用于对所述基板进行规定的处理的处理室内。

6.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述交接位置是自所述载置台的载置所述基板的面起向上方离开规定距离的位置。

7.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

在所述搬送步骤之前，具有对所述检查用基板上的配置所述摄影单元的实际的安装位置相对于设计上的位置的偏离进行校准的校准步骤。

8.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述检查用基板具有将由所述多个摄影单元拍摄到的图像发送到外部的通信单元。

9.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

所述检查用基板的尺寸与所述基板的尺寸相同。

10.根据权利要求1或2所述的示教方法，其特征在于，

在所述检查用基板安装有触摸传感器。