[发明专利]半导体制程自动化控制方法及装置

权利要求书

1.一种半导体制程自动化控制方法，其特征在于，包括：

获取目标机台的当前制程的目标控制模型以及所述目标控制模型采用的目标权重和参考的目标样本数；

根据所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数获得所述目标机台的当前制程的初始建议制程参数；

获取并根据所述目标机台的当前制程的环境数据和当前累积已制程晶圆数量调整所述当前制程的初始建议制程参数，获得所述目标机台的当前制程的目标建议制程参数；

其中，根据所述目标机台的当前制程的环境数据和当前累积已制程晶圆数量调整所述当前制程的初始建议制程参数，获得所述目标机台的当前制程的目标建议制程参数，包括：

将所述当前制程的环境数据和当前累积已制程晶圆数量、所述初始建议制程参数输入至参数调整模型；

通过所述参数调整模型输出所述目标建议制程参数。

2.根据权利要求1所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，获取目标机台的当前制程的目标控制模型以及所述目标控制模型采用的目标权重和参考的目标样本数，包括：

获得所述目标机台的历史数据；

根据所述目标机台的历史数据确定所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数。

3.根据权利要求2所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，根据所述目标机台的历史数据确定所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数，包括：

选取仿真方法，并选择所述仿真方法的参数的取值范围；

将所述仿真方法和相应参数的取值范围内的取值进行组合，生成包括仿真方法和相应参数的取值组成的多个组；

根据所述历史数据计算各个组的模拟推荐制程参数；

根据各个组的模拟推荐制程参数计算各个组的预测量测结果；

根据各个组的预测量测结果和所述历史数据确定所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数。

4.根据权利要求3所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，所述仿真方法包括简单移动平均法和/或指数加权移动平均法，所述参数包括样本数和/或权重。

5.根据权利要求3所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，所述历史数据包括所述目标机台的当前制程对应的当前保养周期内的各历史制程的真实量测结果。

6.根据权利要求5所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，根据各个组的预测量测结果和所述历史数据确定所述目标控制模型、所述目标权重和所述目标样本数，包括：

将各个组的预测量测结果和所述当前制程的前一历史制程的真实量测结果进行比对，获得各个组的差异值；

取各个组中差异值最小的组对应的仿真方法、权重和样本数的取值分别作为所述目标控制模型、目标权重和目标样本数。

7.根据权利要求1所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，还包括：

获得所述目标机台的历史数据；

基于所述历史数据训练参数调整模型。

8.根据权利要求7所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，所述历史数据包括所述目标机台的保养周期、在各保养周期内的各历史生产批次的历史环境数据、历史累积已制程晶圆数量和历史建议制程参数。

9.根据权利要求7所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，所述参数调整模型为人工神经网络模型或者回归模型。

10.根据权利要求8所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，所述目标机台包括至少一个腔室，所述目标机台的保养周期包括各腔室的保养周期。

11.根据权利要求1所述的半导体制程自动化控制方法，其特征在于，还包括：

将所述目标机台的当前制程的目标建议制程参数发送至所述目标机台的控制器，以便于所述控制器根据所述目标建议制程参数进而调整所述当前制程。