[发明专利]在晶圆上形成层叠样式的光耦结构在审

专利信息
申请号: 201811324410.6 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN111162067A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 梁伟成;张平 申请(专利权)人: 喆富创新科技股份有限公司
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张宇园
地址: 中国台湾新竹市龙山*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶圆上 形成 层叠 样式 结构
【说明书】:

发明公开了一种在晶圆上形成层叠样式的光耦结构,包括一晶圆、多个绝缘层与多个发光器,其中,该晶圆上具有多个光接收器,且各该光接收器的一侧面分别设有一光接收区域,另外,各该绝缘层则会披覆至各该光接收器的一侧面,且其上的透光区域至少能对应局部光接收区域,再者,各该发光器分别位在各该绝缘层上,并能通过对应的透光区域,而朝对应的光接收区域方向投射光线,如此,本领域工作人员仅需在晶圆上制作出多个光接收器、绝缘层与发光器所形成的光耦半成品后,便能直接对晶圆上的各该光耦半成品进行测试,以避免将不良的光耦半成品制作为光耦合器。

技术领域

本发明涉及光耦合器的前置结构,尤其涉及一种能够直接在晶圆上形成光耦半成品,以供本领域工作人员直接进行良劣测试的光耦结构。

背景技术

一般而言,光耦合器(optical coupler,或称光电耦合器、光隔离器及光电隔离器)是以光(如:可见光、红外线)作为媒介来传输电讯号的光电转换组件,其大致由光接收器与发光器共同封装而成,且该光接收器与发光器两者之间除了光线之外,不会有任何电气或实体连接。

目前光耦合器普遍分为“左右式结构”与“上下式结构”,现简单说明如下,请参阅图1所示的“左右式结构”,发光器11与光接收器12分属于光耦合器1内的左右相对位置,其中,发光器11与光接收器12分别设在不同支架13A、13B上,且该两个支架13A、13B彼此相隔一间距,而不会相碰触,如此,发光器11即能朝光接收器12的方向投射出光线。

另外,请参阅图2所示的“上下式结构”,发光器21与光接收器22分属于光耦合器2内的上下相对位置,其中,发光器21与光接收器22亦分别设在不同支架23A、23B上,且该两个支架23A、23B彼此相隔一间距,而不会相碰触,如此,发光器21即能朝光接收器22的方向投射出光线。然而,无论是“左右式结构”或“上下式结构”的光耦合器1、2,普遍会面临发光器11、21与光接收器12、22两者距离过远、对位不易及封装对位影响良率等困扰。

除了上述问题之外,由于光耦合器主要作动组件为发光器与光接收器,且发光器与光接收器两者之间的耦合效果,会受到相对位置误差的影响,但是,耦合效果的良劣确需等到光偶合器制作完成才被决定,因此,现有的光耦合器大多是在封装完成为独立产品后,本领域工作人员才能对光耦合器进行检测,此时,若耦合效果不佳,则会造成封装成本白白浪费,甚为可惜。

综上所述可知,现有“左右式结构”与“上下式结构”的光耦合器,结构上仍有其缺失,且仅能在生产为独立产品后才能够进行测试,因此,如何设计出一种新的结构,以有效解决上述问题,即成为本发明所欲解决的重要课题。

发明内容

有鉴于已知光耦合器在生产上与结构上,仍有不尽完美之处,因此,发明人经过长久努力研究与实验,终于开发设计出本发明的一种在晶圆上形成层叠样式的光耦结构,以期望通过本发明能有效解决上述问题。

本发明的一目的,是提供一种在晶圆上形成层叠样式的光耦结构,该晶圆上设有多个光接收器、多个绝缘层与多个发光器,其中,各该光接收器的一侧面分别设有一光接收区域,且各该绝缘层会披覆至各该光接收器的一侧面,其上分别设有一透光区域,各该透光区域至少能分别对应到局部的光接收区域,又有,各该发光器则会分别位于各该绝缘层上,并通过对应的透光区域,而朝对应的光接收区域方向投射光线,以形成一光耦半成品,如此,由于该光耦半成品是直接设于晶圆上,故,本领域工作人员能够在对晶圆进行切割前,即对这些光耦半成品进行测试,以淘汰不良的光耦半成品,进而提高后续将光耦半成品制成光耦合器的生产良率。

附图说明

为便于对本发明目的、技术特征及其功效,做更进一步的认识与了解,现举实施例配合附图,详细说明如下:

图1是已知左右式结构的光耦合器示意图;

图2是已知上下式结构的光耦合器示意图;

图3是本发明的晶圆示意图;

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