[发明专利]超精密芯片制造流水线

说明书

本发明涉及工业自动化装备，更具体地说，涉及一种用于芯片的自动化输送和存储装置。超精密芯片制造流水线，包括：用于输出芯片体的汇合轨道、用于接纳芯片体的接纳输送线、用于整理并搬运芯片体的旋转机械手、用于对芯片体的进行标签印刷的印刷机构、用于对芯片体的位置进行校正的摆正机构、用于输送芯片体的打标输送线、用于推送芯片体的单向机械手、用于对芯片体的侧面进行激光打标作业的激光打标机构；所述接纳输送线和打标输送线的输送方向相互垂直，所述接纳输送线和打标输送线连接的部位设置盖板和所述单向机械手，所述激光打标机构位于所述打标输送线的侧边。本发明超精密芯片制造流水线，用于实现芯片的自动化输送和制造。

技术领域

本发明涉及工业自动化装备，更具体地说，涉及一种用于芯片的自动化制造装备。

背景技术

工业自动化是在工业生产中广泛采用自动控制、自动调整装置，用以代替人工操纵机器和机器体系进行加工生产的趋势。在工业生产自动化条件下，人只是间接地照管和监督机器进行生产。工业自动化，按其发展阶段可分为：(1) 半自动化。即部分采用自动控制和自动装置，而另一部分则由人工操作机器进行生产。(2) 全自动化。指生产过程中全部工序，包括上料、下料、装卸等，都不需要人直接进行生产操作 (人只是间接地看管和监督机器运转)，而由机器连续地、重复地自动生产出一个或一批产品。

工业自动化技术是一种运用控制理论、仪器仪表、计算机和其他信息技术，对工业生产过程实现检测、控制、优化、调度、管理和决策，达到增加产量、提高质量、降低消耗、确保安全等目的综合性高技术，包括工业自动化软件、硬件和系统三大部分。 工业自动化技术作为20世纪现代制造领域中最重要的技术之一，主要解决生产效率与一致性问题。无论高速大批量制造企业还是追求灵活、柔性和定制化企业，都必须依靠自动化技术的应用。自动化系统本身并不直接创造效益，但它对企业生产过程起着明显的提升作用：

（1）提高生产过程的安全性；

（2）提高生产效率；

（3）提高产品质量；

（4）减少生产过程的原材料、能源损耗。

在生产过程中，传统的芯片的搬运和输送都是手工方式的，导致产品的一致性低，利用工业自动化技术实现芯片制造作业的自动化生产，具有重要的现实意义。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种超精密芯片制造流水线，应用在芯片的制造过程中；本发明超精密芯片制造流水线，用于实现芯片的自动化摆放和输送。

一种超精密芯片制造流水线，包括：用于输出芯片体的汇合轨道、用于接纳芯片体的接纳输送线、用于整理并搬运芯片体的旋转机械手、用于对芯片体的进行标签印刷的印刷机构、用于对芯片体的位置进行校正的摆正机构、用于输送芯片体的打标输送线、用于推送芯片体的单向机械手、用于对芯片体的侧面进行激光打标作业的激光打标机构；所述接纳输送线和打标输送线的输送方向相互垂直，所述接纳输送线和打标输送线连接的部位设置盖板和所述单向机械手，所述激光打标机构位于所述打标输送线的侧边；

所述激光打标机构包括：激光打标器、微调机构所述激光打标器固连于所述微调机构；所述微调机构包括：X轴微动滑台、Y轴微动滑台、Z轴微动滑台、L型支架，所述Y轴微动滑台固连于所述X轴微动滑台，所述Z轴微动滑台通过所述L型支架固连于所述Y轴微动滑台，所述X轴微动滑台、Y轴微动滑台、Z轴微动滑台具有相同的机械结构；所述Z轴微动滑台包括：基板、滑动板、微分头、固定座、锁紧铁片、锁紧螺母、激光器连接块，所述基板固连于所述L型支架，所述滑动板通过直线导轨活动连接于所述基板，所述微分头的壳体通过所述固定座固连于所述滑动板，所述微分头的螺杆头顶在所述固定座上，所述锁紧铁片固连于所述固定座，所述锁紧铁片上设置有U型槽，所述锁紧螺母穿过所述U型槽将所述锁紧铁片固连于所述滑动板；所述激光器连接块固连于所述滑动板，所述激光打标器通过所述激光器连接块固连于所述微调机构。