[发明专利]超精密芯片制造流水线

权利要求书

1.一种超精密芯片制造流水线，其特征在于，包括：用于输出芯片体的汇合轨道、用于接纳芯片体的接纳输送线、用于整理并搬运芯片体的旋转机械手、用于对芯片体的进行标签印刷的印刷机构、用于对芯片体的位置进行校正的摆正机构、用于输送芯片体的打标输送线、用于推送芯片体的单向机械手、用于对芯片体的侧面进行激光打标作业的激光打标机构；所述接纳输送线和打标输送线的输送方向相互垂直，所述接纳输送线和打标输送线连接的部位设置盖板和所述单向机械手，所述激光打标机构位于所述打标输送线的侧边；

所述激光打标机构包括：激光打标器、微调机构所述激光打标器固连于所述微调机构；所述微调机构包括：X轴微动滑台、Y轴微动滑台、Z轴微动滑台、L型支架，所述Y轴微动滑台固连于所述X轴微动滑台，所述Z轴微动滑台通过所述L型支架固连于所述Y轴微动滑台，所述X轴微动滑台、Y轴微动滑台、Z轴微动滑台具有相同的机械结构；所述Z轴微动滑台包括：基板、滑动板、微分头、固定座、锁紧铁片、锁紧螺母、激光器连接块，所述基板固连于所述L型支架，所述滑动板通过直线导轨活动连接于所述基板，所述微分头的壳体通过所述固定座固连于所述滑动板，所述微分头的螺杆头顶在所述固定座上，所述锁紧铁片固连于所述固定座，所述锁紧铁片上设置有U型槽，所述锁紧螺母穿过所述U型槽将所述锁紧铁片固连于所述滑动板；所述激光器连接块固连于所述滑动板，所述激光打标器通过所述激光器连接块固连于所述微调机构。

2.根据权利要求1所述的超精密芯片制造流水线，其特征在于，所述单向机械手包括：单相 电机、单向支架、机械手臂、水平导轨、凹槽滑块、回转盘、辊子、配重，所述单相电机的壳体和水平导轨固连于所述单向支架，所述水平导轨为水平布置，所述凹槽滑块活动连接于所述水平导轨；所述单相电机的输出轴上固连有所述回转盘，所述辊子活动连接于所述回转盘，所述配重固连于所述回转盘，所述配重和辊子构成动平衡状态；所述凹槽滑块上设置有和所述辊子相匹配的辊子槽，所述辊子槽为竖直状态；所述机械手臂固连于所述凹槽滑块，所述机械手臂做水平往复运动。

3.根据权利要求1所述的超精密芯片制造流水线，其特征在于，所述印刷机构包括：印刷支架、印刷头上下运动机构、图案送出机构，所述印刷头上下运动机构、图案送出机构固连于所述印刷支架，所述印刷头上下运动机构驱动印刷头进行上下运动，所述图案送出机构用于为所述印刷头提供图案；所述印刷头上下运动机构包括：印刷头上下气缸、印刷头导轨、印刷头基板、栅格板、对射传感器、印刷头、印刷头滑块，所述印刷头上下气缸的气缸体、印刷头滑块固连于所述印刷支架，所述印刷头导轨活动连接于所述印刷头滑块，所述印刷头导轨的一端固连于所述印刷头基板，所述印刷头上下气缸的活塞杆的末端固连于所述印刷头基板，所述印刷头固连于所述印刷头基板的下部；所述栅格板固连于所述印刷头基板，所述对射传感器固连于所述印刷支架，所述栅格板和对射传感器相匹配；所述图案送出机构包括：油壶、图案滑板、图案气缸、油壶挡板，所述图案滑板通过直线导轨活动连接于所述印刷支架，所述图案气缸的活塞杆的末端固连于所述图案滑板，所述油壶活动连接于所述图案滑板，所述油壶挡板固连于所述印刷支架，所述油壶挡板用于防止所述油壶被所述图案滑板带走。

4.根据权利要求1所述的超精密芯片制造流水线，其特征在于，所述摆正机构包括：前限位挡板、前挡板气缸、V型凹槽、侧推挡板、侧推气缸，所述前挡板气缸的活塞杆的末端固连于所述前限位挡板，在所述前限位挡板的前方设置有所述V型凹槽，所述V型凹槽和所述前限位挡板相匹配；所述侧推气缸的活塞杆的末端固连于所述侧推挡板，所述侧推挡板用于将芯片体整齐地对齐。