[发明专利]匹配网络、阻抗匹配器以及阻抗匹配方法有效

专利信息
申请号: 201810974543.1 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN110858530B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 简师节 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01L21/306
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;姜春咸
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 匹配 网络 阻抗 配器 以及 阻抗匹配 方法
【权利要求书】:

1.一种匹配网络,其特征在于,所述匹配网络包括信号输入端、信号输出端、第一匹配单元、第二匹配单元以及开关元件,其中,

所述第一匹配单元的输入端与所述信号输入端电连接,所述第一匹配单元的输出端与所述信号输出端电连接,能够一直保持所述第一匹配单元接在射频回路中;

所述第二匹配单元的输入端与所述开关元件的一端电连接,所述第二匹配单元的输出端与所述信号输出端电连接,所述开关元件的另一端和所述第一匹配单元的输入端与同一所述信号输入端电连接。

2.根据权利要求1所述的匹配网络,其特征在于,

所述第一匹配单元和所述第二匹配单元均包括多个匹配支路,每个所述匹配支路均包括至少一个匹配元件。

3.根据权利要求2所述的匹配网络,其特征在于,

所述第一匹配单元包括第一匹配支路和第二匹配支路,所述第一匹配支路和第二匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第一匹配支路的一端与所述信号输入端电连接,所述第一匹配支路的另一端接地;

所述第二匹配支路的一端与所述信号输入端电连接,所述第二匹配支路的另一端与所述信号输出端电连接。

4.根据权利要求3所述的匹配网络,其特征在于,

所述第二匹配单元包括第四匹配支路和第五匹配支路,所述第四匹配支路和第五匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第四匹配支路的一端接地,所述第四匹配支路的另一端与所述开关元件的一端电连接,所述开关元件的另一端与所述信号输入端电连接;

所述第五匹配支路的一端与所述信号输出端电连接,所述第五匹配支路的另一端电连接于所述开关元件和所述第四匹配支路之间。

5.根据权利要求2所述的匹配网络,其特征在于,

所述第一匹配单元包括第一匹配支路、第二匹配支路和第三匹配支路,三个匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第一匹配支路的一端与所述信号输入端电连接,所述第一匹配支路的另一端与所述信号输出端电连接;

所述第二匹配支路的一端与所述信号输入端电连接,所述第二匹配支路的另一端接地;

所述第三匹配支路的一端与所述信号输出端电连接,所述第三匹配支路的另一端接地;

所述第二匹配单元包括第四匹配支路、第五匹配支路和第六匹配支路,三个匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第四匹配支路的一端与所述开关元件的一端电连接,所述第四匹配支路的另一端与所述信号输出端电连接,所述开关元件的另一端与所述信号输入端电连接;

所述第五匹配支路的一端与所述第四匹配支路的与所述开关元件电连接的一端电连接,所述第五匹配支路的另一端接地;

所述第六匹配支路的一端与所述信号输出端电连接,所述第六匹配支路的另一端接地。

6.根据权利要求2所述的匹配网络,其特征在于,

所述第一匹配单元包括第一匹配支路、第二匹配支路和第三匹配支路,三个匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第一匹配支路的一端与所述信号输入端电连接,所述第一匹配支路的另一端与所述第二匹配支路的一端电连接,所述第二匹配支路的另一端与所述信号输出端电连接;

所述第三匹配支路的一端电连接于所述第一匹配支路和所述第二匹配支路之间,所述第三匹配支路的另一端接地;

所述第二匹配单元包括第四匹配支路、第五匹配支路和第六匹配支路,三个匹配支路均包括至少一个匹配元件,其中,

所述第四匹配支路的一端与所述开关元件的一端电连接,所述开关元件的另一端与所述信号输入端电连接,所述第四匹配支路的另一端与所述第五匹配支路的一端电连接,所述第五匹配支路的另一端与所述信号输出端电连接;

所述第六匹配支路的一端电连接于所述第四匹配支路和所述第五匹配支路之间,所述第六匹配支路的另一端接地。

7.根据权利要求2至6中任意一项所述的匹配网络,其特征在于,每个所述匹配元件均为串接在所述匹配支路中的匹配电容,其中,所述匹配电容为可变电容。

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