[发明专利]一种超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810807194.4 | 申请日： | 2018-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN109136847A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 甘巧强;付博文;宋云;孙大林 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/08;C23C14/58;C23C14/16;C23C14/35;G01N21/65;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 复合薄膜 纳米结构表面 退火 吸收能力 金属膜 最外层 表面增强拉曼散射 形貌 薄膜制备技术 生物化学物质 岛状结构 二次退火 金属颗粒 均匀性好 退火过程 一次退火 再生长 衬底 镀膜 基底 可用 吸光 吸收 薄膜 冷却 生长 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
（1）在衬底上依次生长Ag、Al2O3以及Ag；
（2）在氩气环境下进行退火处理；温度150-250 ℃，时间1-1.5 h；
（3）等待衬底降至室温，再生长一层Au膜，在其他条件相同的基础上，在较低温度100-150 ℃下退火处理1-1.5 h，在已经形成的Ag纳米颗粒的基础上，再生长一层Au纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述衬底材料为硅片、石英片或载玻片。
3. 一种权利要求1所述制备方法得到的超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜，为Ag-Al2O3-AgAu MIM三层结构，其中，Ag膜作为第一层反射膜，Al2O3薄膜作为中间介质层。
4.如权利要求3所述的超吸收Ag-Au纳米结构表面复合薄膜，作为SERS衬底材料的应用。
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