[发明专利]一种喷墨打印AMOLED显示面板的制备方法在审
申请号: | 201810528668.1 | 申请日: | 2018-05-29 |
公开(公告)号: | CN108832009A | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 何昆鹏;张晓星 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素定义层 制备 阳极 间隔层 喷墨打印 背板 表面结构 显示异常 阳极表面 发光层 刻蚀液 墨水层 图形化 刻蚀 线宽 铺展 打印 残留 洁净 覆盖 | ||
本发明提供一种喷墨打印AMOLED显示面板的制备方法,包括下述步骤:制备TFT背板,在TFT背板上制备阳极;在阳极上制备间隔层;在TFT背板上制备像素定义层,且像素定义层覆盖间隔层;图形化像素定义层,在像素定义层上形成缺口以露出间隔层;通过刻蚀液将缺口下方的间隔层刻蚀掉,露出阳极;通过喷墨打印的方式在阳极上形成墨水层。本发明可以提高AMOLED显示面板中阳极表面的洁净程度,减少残留,使得打印发光层更容易铺展均匀,以免AMOLED显示面板显示异常,不会破坏像素定义层表面结构,也不会对像素定义层表面厚度和线宽造成损失。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种喷墨打印AMOLED显示面板的制备方法。
背景技术
在蒸镀AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode,有源矩阵有机发光二极体)技术中,蒸镀材料在像素区的膜厚均匀性好,而IJP-AMOLED(喷墨打印AMOLED)使用亲水性的液态的墨水喷吐成膜,Bank区域(像素区域)的疏水性PDL(Pixel DefineLayer,像素定义层)材料的残留直接影响墨水的铺展,从而导致像素功能异常并最终影响显示效果。例如,如图1所示,1’为TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)背板,2’为平坦层,3’为像素定义层,4’为阳极。如图2所示,30’为图形化后的像素定义层,上面形成有缺口31’,通过缺口31’露出阳极4’,阳极4’上有残留的像素定义层材料32’。如图3所示,在阳极4’上通过喷墨水(墨水材料可以是用于发光的材料)方式形成墨水层5’时,残留的像素定义层材料32’周围会有空白区域41’没有被墨水层5’覆盖,从而会影响AMOLED的显示效果。
因此,良好的墨水铺展性很大程度上决定IJP-AMOLED的产品品质,所以在打印墨水前Bank区域的洁净无残留尤为重要。PDL材料是有机感光材料,Bank区域通过黄光和OVEN制程(烘烤制程)形成,PDL层显影后像素区的PDL材料残留直接影响墨水铺展。现在针对蒸镀AMOLED像素区域的PDL材料残留的对策较多使用PDL黄光制程之后追加一道干刻蚀。但是在IJP-AMOLED的PDL黄光制程之后使用干刻蚀制程会带来以下问题:
1、干刻蚀会破坏PDL表面结构,使PDL失去疏水性,所以在IJP制程中滴下的墨水容易粘附在Bank区域表面,而不是流入Bank区域中。
2、干刻蚀会造成PDL的厚度和线宽一定程度的损失,影响墨水滴入量的确认和像素的开口率。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种喷墨打印AMOLED显示面板的制备方法,可以提高AMOLED显示面板中阳极表面的洁净程度,减少残留,使得打印发光层更容易铺展均匀,以免AMOLED显示面板显示异常,不会破坏像素定义层表面结构,也不会对像素定义层表面厚度和线宽造成损失。
本发明提供的一种喷墨打印AMOLED显示面板的制备方法,包括下述步骤:
制备TFT背板,在所述TFT背板上制备阳极;
在所述阳极上制备用于隔绝阳极与像素定义层的间隔层;
在所述TFT背板上制备像素定义层,且所述像素定义层覆盖所述间隔层;
图形化所述像素定义层,在所述像素定义层上形成缺口以露出所述间隔层;
通过刻蚀液将所述缺口下方的间隔层刻蚀掉,露出所述阳极;
通过喷墨打印的方式在所述阳极上形成墨水层。
优选地,所述间隔层的厚度范围为300~800埃米。
优选地,所述间隔层为金属膜层,所述阳极为透明电极或者反射电极。
优选地,所述透明电极为一层ITO膜层,所述反射电极包含两层ITO膜层以及夹持在所述两层ITO膜层之间的银金属层。
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