[发明专利]一种MEMS压电式加速度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810391155.0 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108614129A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 许高斌;杨海洋;马渊明;陈兴;徐枝蕃 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 刘文军 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电式加速度传感器 顶盖 质量块 边框 传感器本体 基底 限位凸台 压电薄膜 上表面 下表面 悬臂梁 制备 技术指标 监控效率 矩形边框 依次连接 限位孔 限位柱 引线孔 传感器 准确率 位孔 位柱 配合 | ||
1.一种MEMS压电式加速度传感器，包括依次连接并相互配合的基底(1)、传感器本体(2)和顶盖(3)，其特征在于：所述基底(1)呈方形，其上设有限位柱(11)；所述传感器本体(2)置于所述基底(1)与所述顶盖(3)之间，所述传感器本体(2)包括方形的边框(21)，所述边框(21)围成一矩形区域(212)，所述矩形区域(212)的中心位置设有一四边形质量块(23)，所述质量块(23)通过4个悬臂梁(24)与所述边框(21)固定连接；所述质量块(23)的中心位置设有与所述限位柱(11)配合的限位孔(231)，所述限位孔(231)用于套设于所述限位柱(11)外；所述质量块(23)的下表面设有若干第二限位凸台(232)；所述悬臂梁(24)的上表面的两端分别设有第一压电薄膜(241)，所述边框(21)的四角的上表面分别设有第二压电薄膜(211)，所述第一压电单薄膜(241)和所述第二压电薄膜(211)相连通；
所述顶盖(3)呈方形，其四角分别设有一引线孔(31)，所述顶盖(3)的下表面设有若干第一限位凸台(32)。
2.根据权利要求1所述的MEMS压电式加速度传感器，其特征在于，所述边框(21)、所述质量块(23)、所述悬臂梁(24)及所述第二限位凸台(232)均为SOI材料加工而成。
3.根据权利要求2所述的MEMS压电式加速度传感器，其特征在于，所述第一压电薄膜(241)和所述第二压电薄膜(211)均为锆钛酸铅材料制成，经低温环氧工艺分别键和于所述悬臂梁(24)和所述边框(21)上。
4.根据权利要求3所述的MEMS压电式加速度传感器，其特征在于：
所述顶盖(3)的横截面为长2.5mm的正方形，厚度0.3mm，其材质为硅；所述第一限位凸台(32)的高度为0.022mm，其横截面为边长0.01mm的正方形；
所述矩形区域(212)为长度2mm的正方形，所述边框(21)每个边的宽度均为0.5mm，厚度为0.3mm；所述悬臂梁(24)的长度为0.5mm、宽度为0.12mm、厚度为0.04mm；所述质量块(23)的横截面为正方形结构，其边长为1mm、厚度为0.275mm；所述限位孔(231)的高度为0.275mm，其横截面为边长0.15mm的正方形；所述第二限位凸台(232)的高度为0.022mm，其横截面为边长0.01mm的正方形；
所述限位柱(11)的高度为0.3mm，其横截面为边长0.147mm的正方形；
所述第一压电薄膜和所述第二压电薄膜的厚度为0.5um。
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