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[发明专利]压电薄膜-CN201780033533.1在审
发明人：别府浩史;矢野孝伸;拝师基希;木曽宪俊;梨木智刚 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2017-05-30 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H01L41/193 文献下载
摘要：本发明的压电薄膜(10)具备基材薄膜(11)与具有压电性的涂层(12)的层叠体。具有压电性的涂层(12)包含氟树脂。氟树脂是偏氟乙烯的聚合物或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。具有压电性的涂层(12)通过将氟树脂的溶液涂布于基材薄膜(11)并进行干燥而得到。通过本发明的压电薄膜(10)实现雾度值小、总透光率高的压电薄膜。
压电薄膜氟树脂压电性基材薄膜偏氟乙烯三氟氯乙烯溶液涂布三氟乙烯总透光率聚合物层叠体共聚物雾度

[发明专利]压电薄膜-CN202080045409.9在审
发明人：藤方进吾 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，所述压电薄膜可获得压电扬声器，所述压电扬声器可获得高声压，且在宽频区域可获得足够的声压特性，并且能够抑制尤其在低音时的颤音。通过如下压电薄膜来解决课题，所述压电薄膜具有在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子的高分子复合压电体及层叠于高分子复合压电体的两面的电极层，并且作为具有高分子复合压电体及电极层的层叠体的破坏力的面方向的变异系数为
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜-CN202080043916.9在审
发明人：岩本崇裕 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，其能够实现具有高散热性且相对于输入工作电压可获得足够的声压的电声转换薄膜等。所述压电薄膜具有：高分子复合压电体，在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子；电极层，层叠于高分子复合压电体的两面；及保护层，层叠于至少一个电极层的表面，当使用扫描型电子显微镜观察截面时，至少一个电极层具有朝向保护层的
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜-CN202080045002.6在审
发明人：玉田芳纪 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H04R7/20 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，其能够实现耐久性高且相对于输入工作电压可获得足够的声压的电声转换薄膜等。所述压电薄膜具有在包含高分子材料的基质中含有压电体粒子的高分子复合压电体及设置于高分子复合压电体的两面的电极层，通过扫描型电子显微镜观察厚度方向的截面，将高分子复合压电体在厚度方向上进行二等分，并在2个区域分别测定孔隙率时
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜-CN202180011818.1在审
发明人：玉田芳纪 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，其能够实现耐久性高且相对于输入工作电压可获得足够的声压的电声转换薄膜等。本发明通过如下来解决问题，即，具有：高分子复合压电体，在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子；及电极层，设置于高分子复合压电体的两面，通过扫描型电子显微镜观察厚度方向的截面，将高分子复合压电体沿厚度方向等分为10个区域，并测定离得最远的2个区域中的压电体粒子的面积率，将低的压电体粒子的面积率设为1时，高的压电体粒子的面积率为1.2以上。
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜-CN202080085145.X在审
发明人：藤方进吾 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L41/09 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种在压电体层的两面具有电极层的切片状压电薄膜中能够防止电极层的短路的压电薄膜。一种压电薄膜，其具有在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子的压电体层及设置于压电体层的两面的电极层且为切片状，其中，端部的电极层的厚度方向的距离相对于压电体层的厚度为40％以上，由此解决了课题。
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜-CN202180089057.1在审
发明人：香川裕介;田原朋子 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，其在压电体层的两面具有电极层，在电极层的表面设置有保护层，并且电极层与引线的连接电阻低。一种压电薄膜，其具有：压电体层、设置于压电体层的两面的电极层、覆盖电极层而设置的具有贯穿孔的保护层、填充于贯穿孔的导电性的填充部件及与填充部件接触的引线，在至少一个引线中，当将与填充部件接触的区域的面方向的长度设为
压电薄膜

[发明专利]压电薄膜片和压电薄膜传感器-CN202111065213.9在审
发明人：宋细彬 -专利权人：深圳市真元天成科技有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术，公开了一种压电薄膜片和压电薄膜传感器，主要解决传统的压电薄膜制成的压电薄膜传感器无法灵敏地检测通过空气传播的音波强度的问题。压电薄膜片包括压电薄膜层，压电薄膜层沿其纵向极化，压电薄膜片还包括覆盖在压电薄膜层上表面的正电极层和覆盖在压电薄膜层下表面的负电极层，压电薄膜层中具有若干空腔，各空腔沿压电薄膜层横向紧密排列在压电薄膜层中应用本发明提供的压电薄膜传感器检测压力时，当音波传递到压电薄膜片上时，压电薄膜层内紧密排列的空腔产生腔体振动变形并作用于腔壁上，能够产生比传统压电薄膜更强的压电效应，从而提高对通过空气传播的音波的检测灵敏度
压电薄膜传感器

[实用新型]压电薄膜片和压电薄膜传感器-CN202122195441.X有效
发明人：宋细彬 -专利权人：深圳市真元天成科技有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术，公开了一种压电薄膜片和压电薄膜传感器，主要解决传统的压电薄膜制成的压电薄膜传感器无法灵敏地检测通过空气传播的音波强度的问题。压电薄膜片包括压电薄膜层，压电薄膜层沿其纵向极化，压电薄膜片还包括覆盖在压电薄膜层上表面的正电极层和覆盖在压电薄膜层下表面的负电极层，压电薄膜层中具有若干空腔，各空腔沿压电薄膜层横向紧密排列在压电薄膜层中应用本发明提供的压电薄膜传感器检测压力时，当音波传递到压电薄膜片上时，压电薄膜层内紧密排列的空腔产生腔体振动变形并作用于腔壁上，能够产生比传统压电薄膜更强的压电效应，从而提高对通过空气传播的音波的检测灵敏度
压电薄膜传感器

[实用新型]一种带斜埋压电薄膜传感器的称重装置-CN201721883680.1有效
发明人：邵可杰 -专利权人：北京替帝西交通科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01G19/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带斜埋压电薄膜传感器的称重装置，包括第一压电薄膜传感器、地感线圈、第二压电薄膜传感器、第三压电薄膜传感器、斜埋压电薄膜传感器、称重控制器和车道，所述第一压电薄膜传感器、地感线圈、第二压电薄膜传感器、第三压电薄膜传感器和埋压电薄膜传感器相依顺序埋设于所述车道地底下，所述地感线圈设置于所述第一压电薄膜传感器和第二压电薄膜传感器之间，所述斜埋压电薄膜传感器设置于所述第三压电薄膜传感器后面，所述第一压电薄膜传感器、地感线圈、第二压电薄膜传感器、第三压电薄膜传感器和斜埋压电薄膜传感器与所述称重控制器通过线缆相连接。本实用新型采用斜埋电薄膜传感，准确校准偏移位置的车辆实际重量。
压电薄膜传感器地感线圈本实用新型称重控制器称重装置车道偏移位置电薄膜传感线缆校准埋设

[发明专利]一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法-CN201710339899.3有效
发明人：欧黎;徐阳;江洪敏;司美菊;姜华男;张永川;马晋毅;龙飞;杜波;蒋欣;金成飞;田本朗 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法，该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜，底电极采用WSi材料制成，压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极，设置于AlN压电薄膜下，可以提高压电薄膜的c轴取向，降低应力，满足压电薄膜换能器用复合薄膜材料的要求，由此本发明提供的复合薄膜材料结构单元(即WSiAlN薄膜)可以作为压电薄膜换能器中新型的薄膜材料结构单元使用
一种压电薄膜器用 wsialn 及其制备方法

[发明专利]压电薄膜的极化方法-CN202011102910.2在审
发明人：李志勇;江鸿展;蔡柏帆;陈安禄;薛義信;陈志恩 -专利权人：馗鼎奈米科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：一种压电薄膜的极化方法。在此方法中，将压电薄膜平贴在导电基材的表面。进行第一除泡处理，以去除压电薄膜与导电基材的表面之间的气泡。于进行第一除泡处理后，对压电薄膜进行极化制程。在压电薄膜极化前先进行除泡处理，因此于极化压电薄膜时，可提高压电薄膜的表面的平整性，并可避免压电薄膜被击穿，还可提高压电薄膜的极化均匀性，进而可大幅提升压电薄膜的极化品质与良率。
压电薄膜极化方法

[实用新型]压电薄膜测试设备-CN201921651840.9有效
发明人：黄锦钊;章哲宇;牛洋洋 -专利权人：深圳数联天下智能科技有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及压电薄膜技术领域，公开了一种压电薄膜测试设备。该设备包括：测试台，具有承载面，所述承载面用于承载叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜；滚轮，位于所述承载面上，并位于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜上方且抵接于其中一压电薄膜；驱动装置，与滚轮连接，用于驱动所述滚轮在所述承载面上移动，以使所述滚轮滚压于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜；以及测试装置，用于与所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜电连接，以接收所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜产生的电信号。
压电薄膜测试设备

[发明专利]一种滤波器薄膜衬底及其制备方法-CN202210105227.7在审
发明人：欧欣;李忠旭;黄凯 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种滤波器薄膜衬底及其制备方法。所述方法包括：S100:提供支撑衬底；S200:在所述支撑衬底的一侧表面上预设厚度的压电薄膜；S300:对所述压电薄膜进行热处理，将所述压电薄膜加热至居里温度以上，保温第一预设时间；在所述热处理的过程中对所述压电薄膜施加预设电压；S400:在所述压电薄膜上施加能量脉冲，以将所述压电薄膜转变为目标压电层，得到所述薄膜衬底，所述目标压电层为择优取向的多晶压电薄膜。本申请实现了极化取向随机排布的多晶压电薄膜向择优取向的高质量多晶压电薄膜的转变，以及非晶压电薄膜向多晶压电薄膜的转变，提高了压电薄膜的材料质量，有利于制备高频和高性能的体声波器件。
一种滤波器薄膜衬底及其制备方法

[发明专利]压电薄膜元件-CN201680046465.8在审
发明人：彼得·马迪洛维奇;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里;萨布拉曼尼安·西瓦拉马克里什南 -专利权人：萨尔技术有限公司
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：公开了一种压电薄膜元件(20)，包括第一电极(22)、第二电极(23)以及在其之间的一个或更多个压电薄膜，其特征在于，薄膜元件具有下列各项中的至少两项电极布置，其中，电极与这一个或更多个压电薄膜一起布置，以便当压电薄膜元件被致动时，施加到邻近第一电极的压电薄膜或压电薄膜的一部分的电场低于施加到相距第一电极更远的压电薄膜或压电薄膜的一部分的电场；邻近第一电极的压电薄膜，其中，所述第一电极附近的所述压电薄膜的层具有的压电位移常数比相距所述第一电极更远的所述压电薄膜的层的压电位移常数更低；以及邻近第一电极的压电薄膜，其中，所述第一电极附近的所述压电薄膜的层具有的弹性模量比相距所述第一电极更远的所述压电薄膜的层的弹性模量更低。
压电薄膜元件

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