[发明专利]具有高透光度及低电阻特性的透明电极及其制造方法

说明书

本发明涉及具有高透光度及低电阻特性的透明电极的制造方法及利用该方法制造的具有高透光度及低电阻特性的透明电极，根据本发明的一实施例的具有高透光度及低电阻特性的透明电极的制造方法包括：利用电喷射法在基板上喷射高分子物质而在所述基板上形成高分子纤维的阶段；对所述高分子纤维进行热处理的阶段；对所述热处理的高分子纤维进行紫外线(UV)处理的阶段；在所述紫外线处理的高分子纤维上形成金属层的阶段；及除去所述高分子纤维而形成包含纳米纤维的透明电极的阶段。

【技术领域】

本发明涉及具有高透光度及低电阻特性的透明电极的制造方法及利用该方法制造的具有高透光度及低电阻特性的透明电极。

【背景技术】

最近，因智能电子装置的发展，进行着对于代替以往的坚固的显示装置的柔性的显示(flexible display)装置或可拉伸的显示(stretchable display)装置的研究。显示装置要求具有透明性的透明电极，常规性地使用着铟锡氧化物(indium tin oxide，ITO)。但是，这样的ITO因柔软性或伸缩性低而难以适用于柔性的显示装置。为了克服这样的ITO的局限，包含其他物质的透明电极，例如，有透明性，传导性，柔软性等诸优点的石墨烯，银纳米线，利用传导性聚合物的透明电极在产业界，学界等受到很多关心。但是，利用石墨烯，纳米线，传导性聚合物的透明电极工序复杂，尤其是，因为石墨烯是诱发每1层(mono-layer)约2.3％的透光度减小的物质，为了作为透明电极得到有效的透光度，无法使用一定层数以上的石墨烯，从而无法得到充分的薄膜电阻值。

【发明的内容】

【发明要解决的技术问题】

本发明旨在解决上述的问题，本发明旨在提供可以简单的方法制造高透光、低电阻的具有高透光度及低电阻特性的透明电极的、具有高透光度及低电阻特性的透明电极的制造方法及利用该方法制造的具有高透光度及低电阻特性的透明电极。

但是，本发明要解决的技术问题不限于如上提及的课题，本领域技术人员能从下文中的记载明确理解未提及的其他技术问题。

【技术问题的解决方案】

在一实施例中提供具有高透光度及低电阻特性的透明电极的制造方法，其包括：利用电喷射法在基板上喷射高分子物质而在所述基板上形成高分子纤维的阶段；对所述高分子纤维进行热处理的阶段；对所述热处理的高分子纤维进行紫外线(UV)处理的阶段；在所述紫外线处理的高分子纤维上形成金属层的阶段；及除去所述高分子纤维而形成包含纳米纤维的透明电极的阶段。

在一方面，对所述高分子纤维进行热处理的阶段可为在玻璃转变(glasstransition)温度施行30分钟～3小时。

在一方面，对所述热处理的高分子纤维进行紫外线(UV)处理的阶段可为将具有150nm～370nm的波长的紫外线以1kw～25kw的强度照射10秒钟～5分钟。

在一方面，对所述热处理的高分子纤维进行紫外线(UV)处理的阶段可为同时施行臭氧(O₃)处理。

在一方面，在所述基板上形成高分子纤维的阶段可为向所述基板施加负(-)电压而施行。

在一方面，所述负(-)电压可为-1KV～-10KV的范围的直流电压或交流电压。

在一方面，所述透明电极可为透光度是80％以上，薄膜电阻是100Ω/sq以下。

在一方面，所述高分子纤维的直径可为100nm～1μm。