[发明专利]具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导有效
| 申请号： | 201810078812.6 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108318967B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 高士明;涂智华;金强 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 品质因数 半导体 金属 聚合物 非线性 复合 波导 | ||
1.一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：包括衬底(1)和覆盖于衬底(1)之上的半导体-金属-聚合物复合波导，半导体-金属-聚合物复合波导主要有金属层(4)和分别布置于金属层(4)的上下表面且上下对称布置的两个组合层构成，组合层包括从金属层(4)表面向外的第一半导体层(2’)、聚合物层(3)和第二半导体层(2)；金属层(4)和组合层外设置空气的包层；
两个组合层中的第一半导体层(2’)、聚合物层(3)和第二半导体层(2)的布置关于金属层(4)形成的上下对称结构；第一半导体层(2’)分别紧贴布置于与金属层(4)的上下表面，且第一半导体层(2’)布置于金属层(4)的中间，聚合物层(3)包裹于第一半导体层(2’)外且接触于金属层(4)表面。
2.根据权利要求1所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：所述的第一半导体层(2’)的宽度小于金属层(4)的宽度，聚合物层(3)和第二半导体层(2)的宽度等于金属层(4)的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：
所述的复合波导中以聚合物层(3)构成狭缝结构，使得光场束缚在狭缝结构中。
4.根据权利要求1所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：
所述的复合波导中以两半导体层(2、2’)、聚合物层(3)和金属层(4)形成对称波导结构，使得复合波导存在对称模式，有效地降低波导的线性传输损耗。
5.根据权利要求1所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：
所述的第一半导体层(2’)和第二半导体层(2)为高折射率材料，聚合物层(3)为高非线性低双光子吸收材料，金属层(4)为低线性损耗材料。
6.根据权利要求1或5所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：所述的聚合物层(3)采用聚合物DDMEBT(2-[4-(二甲基氨基)苯基]-3-([4-(二甲基氨基)苯基]乙炔基)丁-1,3-二烯-1,1,4,4-四氰)。
7.根据权利要求1或5所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：所述的第一半导体层(2’)和第二半导体层(2)采用硅。
8.根据权利要求1或5所述的一种具有高品质因数的半导体-金属-聚合物非线性复合波导，其特征在于：所述的金属层(4)采用金、银。
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