[发明专利]一种显示基板及其制造方法、显示器件有效
申请号: | 201810054626.9 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108346668B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 秦旭;张露;韩珍珍;胡思明;朱晖 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 及其 制造 方法 器件 | ||
1.一种显示基板,其特征在于,包括:
基底;
半导体层,形成于所述基底上表面,包括沟道区与导电区;
栅绝缘层,形成于所述半导体层以及未被半导体层覆盖的基底上表面;
第一导电层,形成于所述栅绝缘层上表面,包括正投影与所述沟道区有重叠部分的若干栅极区;
第二导电层,所述第二导电层包括极板区;所述极板区形成于至少一个所述栅极区上表面且与该栅极区电性连接,其正投影与所述导电区有重叠部分。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述栅极区正投影边缘完全位于该栅极区上表面的极板区内部。
3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第二导电层与所述第一导电层之间形成第一绝缘层,所述第一绝缘层内形成第一通孔,所述极板区与所述栅极区通过所述第一通孔电性连接。
4.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,所述第一导电层、栅绝缘层以及半导体层形成若干薄膜晶体管,所述若干薄膜晶体管包括驱动晶体管,所述极板区形成于所述驱动晶体管的栅极区上表面。
5.根据权利要求4所述的显示基板,其特征在于,所述第一绝缘层以及栅绝缘层内形成第二通孔,所述极板区包括形成有效存储电容的电容区以及连接电容区的非电容区,所述非电容区通过所述第二通孔与所述导电区电性连接。
6.根据权利要求5所述的显示基板,其特征在于,所述第二导电层还包括与所述极板区相互分隔的非极板区,所述第一绝缘层以及栅绝缘层内形成第三通孔,所述非极板区通过所述第三通孔与所述导电区电性连接。
7.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一导电层与所述第二导电层材料不同,所述极板区与所述栅极区直接接触。
8.根据权利要求7所述的显示基板,其特征在于,所述第一导电层材料为金属,所述第二导电层材料为氧化铟锡。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的显示基板的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供一基底,并且在所述基底上表面形成半导体层;
在所述半导体层以及未被半导体层覆盖的基底上表面形成栅绝缘层,且在所述栅绝缘层上表面形成第一导电层,所述第一导电层包括若干栅极区,所述若干栅极区正投影与所述半导体层有若干重叠部分;
以所述第一导电层为掩膜对所述半导体层进行掺杂,形成导电区;
在所述至少一个所述栅极区上表面形成电性连接所述栅极区且正投影与所述导电区有重叠部分的极板区。
10.一种显示器件,包括若干单元发光器件,还包括权利要求1-8中任一项所述的显示基板,所述显示基板为各单元发光器件供电。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的