[发明专利]机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法

说明书

本发明涉及运送晶圆载具的机械手臂装置的控制方法及机械手臂装置。其中，机械手臂装置包含：机械手臂、夹爪装置、影像采集模块、距离感测单元及控制模块。夹爪装置包含：两个夹爪结构及活动组件。两个夹爪结构与活动组件连接，控制模块能控制两个夹爪结构彼此靠近或是彼此远离。影像采集模块设置于夹爪装置，影像采集模块用以采集晶圆载具的预定范围的影像，而能对应产生影像采集信息。距离感测单元用以感测晶圆载具的多个预定位置，而能对应产生多个距离感测信息。控制模块能根据影像采集信息、多个距离感测信息及数据库中的预定位置信息，对应控制夹爪装置，以使夹爪装置正确地取放晶圆载具。

技术领域

本发明涉及一种机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法，特别是一种运送晶圆载具的机械手臂装置及其控制方法。

背景技术

在晶圆制作过程中，半成品的晶圆片多是设置于晶圆载具中，而晶圆载具的取放则是利用机械手臂来进行。一般来说，机械手臂会根据预定的路径，在预定的位置夹取晶圆载具或者是将晶圆载具放置于预定的位置。但在实际应用中，机械手臂可能因为各种环境因素，例如厂内高架地板不平整或货架轻微变形，致使机械手臂与晶圆载具或机台设备之间的相对位置关系改变，从而无法正确地夹取或放置晶圆载具。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法，用以改善现有技术中，机械手臂在取放晶圆载具时，常会因机械手臂未正确地夹持晶圆载具而导致晶圆载具在运送过程中不稳定，或者机械手臂未正确地放置晶圆载具，而导致晶圆载具倾斜甚至倾倒的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种运送晶圆载具的一机械手臂装置的控制方法，其用于在所述机械手臂装置夹持一晶圆载具前或是将所夹持的所述晶圆载具放下前，控制所述机械手臂装置的位置，所述控制方法包含：一影像采集步骤：利用一影像采集模块采集所述晶圆载具的一预定范围的影像，以对应产生一影像采集信息；一比对步骤：利用所述影像采集信息比对一晶圆盒影像信息，并据以产生一影像比对信息；一距离感测步骤：利用设置于所述机械手臂装置的至少一距离感测单元对所述晶圆载具的至少两个位置进行距离感测，以对应产生至少两个距离感测信息；一校正步骤：根据所述影像比对信息及至少两个所述距离感测信息控制所述机械手臂装置移动，以校正所述机械手臂装置的夹爪装置与所述晶圆载具的至少一辅助构件之间的相对位置，据以使所述机械手臂装置正确地夹持所述辅助构件。

优选地，在所述影像采集步骤前，还包含有一移动步骤：接收一位置信息，根据所述位置信息控制所述机械手臂装置移动至所述晶圆载具的周围。

优选地，所述机械手臂装置能活动地设置于一自动导引车；在所述移动步骤中，接收所述位置信息后，将根据所述位置信息控制所述自动导引车及所述机械手臂装置移动，以使所述自动导引车移动至设置有所述晶圆载具的一生产设备或一货架的附近，并使所述机械手臂装置移动至所述晶圆载具的周围。

优选地，在所述距离感测步骤中，两个所述距离感测单元对所述晶圆载具进行感测的两个所述位置位于所述影像采集模块对所述晶圆载具进行影像采集的影像采集范围中。

优选地，在所述校正步骤中，利用所述影像比对信息、多个所述距离感测信息及所述距离感测单元对所述晶圆载具所感测到的至少两个所述位置之间的距离来校正所述机械手臂装置的所述夹爪装置与所述辅助构件之间的相对位置。

优选地，在所述距离感测步骤中，利用单个所述距离感测单元先后对所述晶圆载具的至少两个所述位置进行距离感测；在所述校正步骤中，利用所述影像比对信息、多个所述距离感测信息及单个所述距离感测单元对至少两个所述位置先后进行距离感测时移动的距离进行校正。

优选地，在所述距离感测步骤中，利用两个所述距离感测单元同时对所述晶圆载具的两个所述位置进行距离感测。