[发明专利]接合基板的装置和方法

权利要求书

1.用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在所述基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的方法，其中，所述第一基板(4o)被接纳在第一接纳设备(1o)上且所述第二基板(4u)被接纳在第二接纳设备(1u)上，且其中，在所述第二基板(4u)与所述第二接纳设备(1u)之间布置有板(17u)，

其特征在于，

所述第二基板(4u)与所述板(4u)在所述接合之前且/或在所述接合期间相对所述第二接纳设备(1u)被变形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一基板(4o)与所述第一接纳设备(1o)之间布置有板(17o)，其中，所述第一基板(4o)与所述板(17o)在所述接合之前且/或期间相对所述第一接纳设备(1o)被变形。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在接触所述接触面(4k)之前调整且/或控制所述变形镜像对称于且/或同中心于所述接触面(4k)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述变形中的至少一个变形尤其通过流体压力加载借助于加载所述板(17u,17o)的弯曲器件(5,5')来被调整且/或被控制。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述板(17u,17o)中的至少一个通过尤其呈环形地、优选呈圆环形地布置在所述接纳设备(1u,1o)的周缘处、尤其地仅在所述板(17o,17u)的周缘边缘的区域中的第一紧固器件(2)被紧固。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基板(4u,4o)中的至少一个基板通过所述板(17u,17o)的尤其与所述接纳设备的第一紧固器件(2)相连接的、优选类似的第二紧固器件(2')被紧固。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述基板(4o,4u)中的一个基板且/或所述板(17o,17u)中的至少一个板的变形通过弯曲测量器件、尤其传感器(3)、优选间距传感器来鉴定。

8.用于将第一基板(4o)与第二基板(4u)在所述基板(4o,4u)的彼此面对的接触面(4k)处接合的装置，带有：

- 用于接纳所述第一基板(4o)的第一接纳设备(1o)和用于接纳所述第二基板(4u)的第二接纳设备(1u)，

- 布置且/或可布置在所述第二基板(4u)与所述第二接纳设备(1u)之间的板(17u)，

其特征在于，

用于所述板(17u)与所述第二基板(4u)相对所述第二接纳设备(1u)的变形的弯曲改变器件在所述接合期间是可控制的。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，在所述第一基板(4o)与所述第一接纳设备(1o)之间布置有板(17o)，其中，所述第一基板(4o)与所述板(17o)在所述接合之前且/或期间相对所述第一接纳设备(1o)可变形地构造。

10.根据权利要求9或10所述的装置，其特征在于，所述第一接纳设备(1o)且/或所述第二接纳设备(1u)具有用于调整且/或控制所述变形的尤其机械的弯曲器件和/或流体压力加载器件。

11.根据权利要求9或10所述的装置，其特征在于，所述第一接纳设备(1o)和/或所述第二接纳设备(1u)具有用于紧固所述板(17o,17u)的尤其呈环形地布置的第一紧固器件(2)。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述板中的至少一个具有用于紧固所述基板(4u,4o)的、尤其与所述接纳设备(1o,1u)的第一紧固器件(2)相连接的、优选类似的第二紧固器件(2')。