[实用新型]一种多晶硅倒角装置

说明书

本实用新型涉及一种多晶硅倒角装置，属于多晶硅加工设备领域，包括支架，支架上装有台面，台面上设有倒角磨轮固定柱，倒角磨轮固定柱上装有倒角磨轮，台面上设有夹具轨道，夹具轨道上设有轨道凹槽，轨道凹槽上装有下夹具，下夹具下方设有夹具滑块，夹具滑块下方装有滑块固定轴，滑块固定轴上设有固定轴手柄，台面下表面装有气缸，气缸上设有伸缩夹钳，台面上方设有上固定板，上固定板上装有上夹具，上夹具和下夹具均为“V”形槽。本实用新型结构简单，操作方便，可以同时进行多晶硅硅块两条棱边的倒角，减轻了操作的繁琐性，同时减少了多晶硅因多次移动导致硅块损伤的可能性，使得生产工艺更简单便捷，节省劳动力，提高工作效率，实用性很强。

技术领域

本实用新型属于多晶硅加工设备领域，主要涉及一种多晶硅倒角装置。

技术背景

为了去除零件上因机加工产生的毛刺，也为了便于零件装配，一般在零件端部做出倒角。另外，在光伏行业的多晶硅片的生产过程中，有一道工序被称为倒角，倒角的意思是对硅锭的棱边进行处理，以清除棱角的工序。倒角主要是在机械加工中的轴和孔沿30°、45°、60°等角度用钻床等方式做一个一定长度的斜坡。

在对多晶硅进行加工过程中，硅块经过切割后边缘表面有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙。为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，就要将硅块边缘磨削呈圆弧状或梯形，即进行倒角处理。

硅块倒角的目的主要是：1.消除硅块边缘表面由于切割后产生的棱角、毛刺、崩边或其他的缺陷，以及各种边缘表面污染，降低硅块边缘表面的粗糙度。

2.减小机械应力与热应力集中，后期硅块在使用时会经历大量的高温，如氧化、扩散、薄膜生长等，当这些工艺中产生的热应力的大小超过硅晶体强度时，即会产生位错与滑移等材料缺陷，倒角可减弱此类材料缺陷。

因此，倒角对于生产出更合格的硅片成品至关重要。常见的多晶硅倒角装置，一次放入多晶硅硅块只能进行一条硅块棱边的倒角，要实现四条棱边的倒角就需要旋转并放入四次，造成了操作的繁琐性，同时增加了多晶硅因多次移动导致硅块损伤的可能性，因此，需要设计一种更加简单便捷的多晶硅倒角装置，使得生产工艺更简便，节省劳动力，提高工作效率。

发明内容

为了使得多晶硅的倒角过程更加简单便捷，本实用新型提供一种多晶硅倒角装置，可以同时进行多晶硅硅块两条棱边的倒角，使得生产工艺更简单便捷，实用性很强。

本实用新型所采用的设计方案是：一种多晶硅倒角装置，包括支架1，所述支架1上装有台面2，所述台面2上设有倒角磨轮固定柱3，所述倒角磨轮固定柱3上装有倒角磨轮4，所述台面2上设有夹具轨道5，所述夹具轨道5上设有轨道凹槽6，所述轨道凹槽6上装有下夹具7，所述下夹具7下方设有夹具滑块8，所述夹具滑块8下方装有滑块固定轴9，所述滑块固定轴9上设有固定轴手柄10，所述台面2下表面装有气缸11，所述气缸11上设有伸缩夹钳12，所述台面2上方设有上固定板13，所述上固定板13上装有上夹具14。

本实用新型提供的设计方案中，所述倒角磨轮固定柱3有两个，分别位于夹具轨道5的两侧，且每一个倒角磨轮固定柱3上都装有一个倒角磨轮4。

本实用新型提供的设计方案中，所述下夹具7、夹具滑块8、滑块固定轴9以固定轴手柄10为一个整体结构，所述夹具滑块8可在轨道凹槽3内滑动。

本实用新型提供的设计方案中，所述伸缩夹钳12的内围尺寸与滑块固定轴9的外周尺寸相同，所述伸缩夹钳12可感应到滑块固定轴9的接触。

本实用新型提供的设计方案中，所述上固定板13和上夹具14分别具有和台面2和下夹具7一样的夹具滑动结构。

本实用新型提供的设计方案中，所述上夹具14和下夹具7均为“V”形槽。

本实用新型具有以下优点：