[实用新型]清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于，包括：

一流体供应模块，包括一开口，以提供一流体来清洗一基板；以及

一防漏模块，设于该流体供应模块的一侧，该防漏模块包括一本体、一驱动件及一防漏件，该驱动件及该防漏件设置于该本体，该防漏件包括一容置部，且该驱动件驱使该防漏件移动至该开口，并使该容置部位于该开口处。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该驱动件包括一第一气体供应管，以藉由喷出一第一气体来驱使该防漏件移动。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，该第一气体供应管喷出该第一气体至该基板的表面，以干燥该基板。

4.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，该防漏件包括一集气槽，而该第一气体喷出至该集气槽而驱使该防漏件移动。

5.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，更包括一第二气体供应管，以藉由喷出一第二气体至该基板的表面来干燥该基板。

6.如权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，该第一气体及该第二气体喷出至该基板的表面，以干燥该基板。

7.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该驱动件包括一气压伸缩件，该气压伸缩件包括一顶杆，而该顶杆通过一气压来移动而推动该防漏件。

8.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该驱动件包括一磁力驱动组，该磁力驱动组包括一第一磁体及一第二磁体，该第一磁体及该第二磁体至少其中之一为一电磁体，且该第一磁体及该第二磁体分别设于该本体与该防漏件相对应的一侧。

9.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该驱动件包括一马达、一从动件及一皮带，该马达设于该本体，该防漏件通过该从动件枢设于该本体，该皮带环绕该马达及该从动件，而该马达经该皮带带动该从动件转动，并驱动该防漏件移动。

10.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该驱动件包括一马达及一从动件，该马达设于该本体且包括一第一齿轮，该防漏件通过该从动件枢设于该本体，该从动件包括一第二齿轮，该第一齿轮与该第二齿轮相互接触且转动，并驱动该防漏件移动。

11.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，更包括一抵靠件，该抵靠件设置于该本体，且该抵靠件位于该防漏件的动作路径，以限制该防漏件的移动范围。

12.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该防漏件经一转轴枢设于该本体，该防漏件受到该驱动件驱使后会通过该转轴转动而使该容置部移动至该开口，当该防漏件不再受到该驱动件驱使，该防漏件的该容置部通过一重心偏移而远离该开口。

13.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，该流体供应模块更包括一第三气体供应管，该第三气体供应管与该流体供应模块连接，该第三气体供应管提供一第三气体，以与该流体混合而产生水雾来清洗该基板。