[实用新型]背照式CMOS传感器的封装结构有效

专利信息
申请号: 201721131593.0 申请日: 2017-09-05
公开(公告)号: CN207353252U 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 陈彦亨;林正忠 申请(专利权)人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 罗泳文
地址: 214437 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 背照式 cmos 传感器 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:

重新布线层,包括第一面以及与所述第一面相对的第二面;

背照式CMOS传感器结构,固定连接于所述重新布线层的第二面;

逻辑芯片,设置于所述重新布线层的第一面,且所述背照式CMOS传感器结构与所述逻辑芯片通过所述重新布线层实现电性连接;

封装材料,形成于所述重新布线层的第二面上,并包覆于所述逻辑芯片;

穿孔,形成于所述封装材料中且露出所述重新布线层;以及

金属引线结构,制作于所述穿孔中,以实现所述重新布线层、所述背照式CMOS传感器结构与所述逻辑芯片的电性引出。

2.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属引线结构包括金属柱、焊料球、及金属柱与焊料凸点所组成的叠层中的一种。

3.根据权利要求2所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属柱包括铜柱、银柱、金柱、铝柱及钨柱中的一种,所述焊料球及焊料凸点包括锡焊料、银焊料及金锡合金焊料中的一种。

4.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属引线结构的高度大于所述逻辑芯片的厚度。

5.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述背照式CMOS传感器结构包括:正面具有图像传感器的晶圆;以及透明盖板,键合于所述晶圆的背面。

6.根据权利要求5所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述晶圆的厚度为不大于3μm,以提高所述图像传感器的背面感光强度。

7.根据权利要求5所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述透明盖板基于金锡键合层键合于所述晶圆的背面。

8.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述封装材料包括聚酰亚胺、硅胶以及环氧树脂中的一种。

9.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述重新布线层包括图形化的介质层以及图形化的金属布线层。

10.根据权利要求9所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述介质层的材料包括环氧树脂、硅胶、PI、PBO、BCB、氧化硅、磷硅玻璃,含氟玻璃中的一种或两种以上组合,所述金属布线层的材料包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。

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