[实用新型]背照式CMOS传感器的封装结构有效
申请号: | 201721131593.0 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN207353252U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 陈彦亨;林正忠 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背照式 cmos 传感器 封装 结构 | ||
1.一种背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:
重新布线层,包括第一面以及与所述第一面相对的第二面;
背照式CMOS传感器结构,固定连接于所述重新布线层的第二面;
逻辑芯片,设置于所述重新布线层的第一面,且所述背照式CMOS传感器结构与所述逻辑芯片通过所述重新布线层实现电性连接;
封装材料,形成于所述重新布线层的第二面上,并包覆于所述逻辑芯片;
穿孔,形成于所述封装材料中且露出所述重新布线层;以及
金属引线结构,制作于所述穿孔中,以实现所述重新布线层、所述背照式CMOS传感器结构与所述逻辑芯片的电性引出。
2.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属引线结构包括金属柱、焊料球、及金属柱与焊料凸点所组成的叠层中的一种。
3.根据权利要求2所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属柱包括铜柱、银柱、金柱、铝柱及钨柱中的一种,所述焊料球及焊料凸点包括锡焊料、银焊料及金锡合金焊料中的一种。
4.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述金属引线结构的高度大于所述逻辑芯片的厚度。
5.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述背照式CMOS传感器结构包括:正面具有图像传感器的晶圆;以及透明盖板,键合于所述晶圆的背面。
6.根据权利要求5所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述晶圆的厚度为不大于3μm,以提高所述图像传感器的背面感光强度。
7.根据权利要求5所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述透明盖板基于金锡键合层键合于所述晶圆的背面。
8.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述封装材料包括聚酰亚胺、硅胶以及环氧树脂中的一种。
9.根据权利要求1所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述重新布线层包括图形化的介质层以及图形化的金属布线层。
10.根据权利要求9所述的背照式CMOS传感器的封装结构,其特征在于:所述介质层的材料包括环氧树脂、硅胶、PI、PBO、BCB、氧化硅、磷硅玻璃,含氟玻璃中的一种或两种以上组合,所述金属布线层的材料包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的