[实用新型]一种晶硅棒搬运移栽机器人

说明书

技术领域

本实用新型涉及搬运设备，特别是一种晶硅棒搬运移栽机器人。

背景技术

目前越来越多的生产加工厂、物流仓库涉及到物料搬运。对于半导体生产厂家来说，由于单晶硅沿着垂直方向生长结晶，结晶完毕后需要将晶硅棒进行搬运移栽，由于晶硅棒的比重大，脆性强，单根硅棒重量都在100公斤以上，在硅棒取出和搬运的过程中不仅劳动强度大，而且风险性大，操作稍不小心就很容易造成硅棒摔倒断裂，需要借助于自动化设备对晶硅棒进行搬运移栽。

实用新型内容

针对以上需求，本实用新型的晶硅棒搬运移栽机器人，针对晶硅棒搬运的跨度大、负载重、易碎裂等特点，以自动化搬运替代人工搬运，节省了人工，提高了搬运效率。

本实用新型的技术方案为：

一种晶硅棒搬运移栽机器人，包括通过立柱架设在空中的三维方向轨道和沿轨道运行的夹具，所述三维方向轨道包括水平方向的X轴轨道、垂直架设在X轴轨道上能沿X轴轨道水平运行的Y轴轨道和垂直架设在Y轴轨道上能沿Y轴轨道水平运行的Z轴轨道，所述夹具设置在Z轴轨道上，能沿Z轴轨道升降运行和开合夹取、放置物料。

所述晶硅棒搬运移栽机器人还包括电控箱、电机和减速机，所述电控箱用于接收外部指令，通过电机和减速机控制Y轴轨道和Z轴轨道的运行。

所述X轴轨道和Y轴轨道、Y轴轨道和Z轴轨道均采用齿轮齿条方式传动，即，在Y轴轨道上、Z轴轨道上设有滚轮箱，所述滚轮箱内部设置有齿轮，在X轴轨道上的与Y轴轨道滚轮箱相接触面、Y轴轨道上的与Z轴轨道滚轮箱相接触面设有导轨板和齿条，所述齿轮与齿条相互啮合实现传动。

所述夹具通过升降气缸和夹紧油缸控制其升降运行或开合，所述升降气缸用于使夹具升降运行，所述夹紧油缸用于使夹具开合。

所述夹具还包括夹板、限位开关和设置于夹板上的数个耐磨片，所述夹板和耐磨片用于夹取物料，所述限位开关用于感应当物料到达数个耐磨片组成的中心位置，发出信号使夹具执行夹取物料动作。

所述X轴轨道有两根，所述Y轴轨道有两根，所述Z轴轨道有四根，每根Y轴轨道上分别设置两根Z轴轨道。

所述X轴轨道长度为10-50米，Y轴轨道长度为5-15米，Z轴轨道长度为2.5-3.4米。

所述Y轴轨道的运行速度为400--712mm/s，Z轴轨道的运行速度为400--712mm/s，夹具的运行速度为400--474.7mm/s。

本实用新型的技术方案具有以下优点：

1、具有大跨度、大负载等优点，适合长距离、重物料的平移搬运；

2、齿轮齿条传动方式拼接紧密、搬运过程平稳，运行流畅，减少晶硅棒等敏感物料损伤；

3、液压油缸控制夹具开合，抓握力强，夹具夹取物料后保持时间长，保持力矩时间长达1小时；

4、模块化设计，分段安装，可根据不同工作需求进行模块化定制，改变长宽高尺寸，使之更加适合现场搬运需要。

附图说明

图1为本实用新型晶硅棒搬运移栽机器人整体结构图；

图2为本实用新型X轴轨道结构图；

图3为本实用新型Y轴轨道架设于X轴轨道上的结构图；

图4为本实用新型Z轴轨道架设于Y轴轨道上的结构图；

图5为本实用新型夹具结构图；

图6为本实用新型晶硅棒搬运移栽机器人吊起晶硅棒的示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

图1-图6为本实用新型的实施例。

参考图1，本实用新型的晶硅棒搬运移栽机器人，包括通过12根立柱11架设在空中的三维方向轨道和沿轨道运行的夹具31，所述三维方向轨道包括水平方向的两根X轴轨道10，X1、X2，垂直跨架于X1、X2上的两根Y轴轨道20，Y1、Y2，和分别垂直架设在Y1、Y2上的四根Z轴轨道30，Z1、Z2、Z3、Z4，每根Z轴轨道30下方设置有夹具31，能沿Z轴轨道30升降运行和开合夹取、放置物料。为了使夹具31能沿Z轴轨道30流畅地滑动，每个Z轴上都有一套润滑系统。