[发明专利]测量点补偿值的计算方法、装置及设备

权利要求书

1.一种测量点补偿值的计算方法，包括：

确定晶圆上多个测量图案中的多个测量点，获取所述测量点的初始值；

由所述测量图案中的测量点构成第一测量点群组，根据所述第一测量点群组中的测量点的初始值计算第一补偿值；

根据所述第一补偿值对所述第一测量点群组中的测量点的初始值进行补偿，得到所述测量点的校准值；以及

由所述测量图案中的所述测量点构成第二测量点群组，当第二测量点群组与第一测量点群组存在测量点交集时，产生交集部分的所述测量点的校准值返回到所述测量点的初始值，并根据第二测量点群组中测量点的初始值计算第二补偿值。

2.根据权利要求1所述测量点补偿值的计算方法，其特征在于，所述第一测量点群组的测量点包括待测晶圆上的已知测量点；以及

计算所述第一补偿值的步骤包括：

对所述待测晶圆上的已知测量点的初始值执行线性补偿计算，得到所述第一补偿值。

3.根据权利要求1或2所述测量点补偿值的计算方法，其特征在于，所述第二测量点群组的测量点包括至少一个曝光单元中的测量点；以及

计算所述第二补偿值的步骤包括：

计算出所述曝光单元的所述第二补偿值。

4.根据权利要求1所述测量点补偿值的计算方法，其特征在于，所述第一测量点群组的测量点包括至少一个曝光单元的测量点；以及

计算所述第一补偿值的步骤包括：

计算出所述曝光单元的所述第一补偿值。

5.根据权利要求1或4所述测量点补偿值的计算方法，其特征在于，所述第二测量点群组的测量点包括待测晶圆上的已知测量点；以及

所述计算第二补偿值的步骤包括：

对所述待测晶圆上的已知测量点的初始值执行线性补偿计算，得到所述第二补偿值。

6.一种测量点补偿值的计算装置，其特征在于，包括：

合并量测模块，用于确定晶圆上多个测量图案中的多个测量点，获取所述测量点的初始值；

第一设定模块，用于由所述测量图案中的测量点构成第一测量点群组，根据所述第一测量点群组中的测量点的初始值计算第一补偿值；

补偿模块，用于根据所述第一补偿值对所述第一测量点群组中的测量点的初始值进行补偿，得到所述测量点的校准值；以及

第二设定模块，用于由所述测量图案中的所述测量点构成第二测量点群组，当第二测量点群组与第一测量点群组存在交集时，产生交集部分的所述测量点的校准值返回到所述测量点的初始值，并根据第二测量点群组中测量点的初始值计算第二补偿值。

7.根据权利要求6所述测量点补偿值的计算装置，其特征在于，所述第一测量点群组的测量点包括待测晶圆上的已知测量点；所述补偿模块用于对所述待测晶圆上的已知测量点的初始值执行线性补偿计算，得到所述第一补偿值。

8.根据权利要求6或7所述测量点补偿值的计算装置，其特征在于，所述第二测量点群组的测量点包括至少一个曝光单元中的测量点，所述第二设定模块用于计算出至少一个曝光单元的所述第二补偿值。

9.根据权利要求6所述测量点补偿值的计算装置，其特征在于，所述第一测量点群组包括至少一个曝光单元的测量点，所述补偿模块用于计算出至少一个曝光单元的所述第一补偿值。

10.根据权利要求6或9所述测量点补偿值的计算装置，其特征在于，所述第二测量点群组的测量点包括待测晶圆的已知测量点，所述第二设定模块用于对所述待测晶圆上的已知测量点的初始值执行线性补偿计算，得到所述第二补偿值。

11.一种测量点补偿值的计算设备，其特征在于，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行所述计算机程序时，实现如权利要求1所述的测量点补偿值的计算方法。