[发明专利]一种N型双面太阳能电池及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201711348204.4 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN107887478B 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 陈周;包健;张昕宇;金浩;徐冠群;廖辉 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王宝筠
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 双面 太阳能电池 及其 制作方法
【说明书】:

发明公开了一种N型双面太阳能电池及其制作方法,N型双面太阳能电池的P型扩散层包括多个深入N型硅片的P型重掺杂区和覆盖N型硅片的正面的P型轻掺杂区,N型扩散层包括多个深入N型硅片的N型重掺杂区和覆盖N型硅片的背面的N型轻掺杂区,且形成与P型重掺杂区位置对应的正面栅线电极,和形成与N型重掺杂区位置对应的背面栅线电极,以制备形成具有选择性发射极的N型双面太阳能电池,进而提高N型双面太阳能电池的光电转换效率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域,更为具体的说,涉及一种N型双面太阳能电池及其制作方法。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种清洁、普遍和潜力高的替代能源。太阳能电池,也称光伏电池,是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品,不会引起环境污染,而且太阳能是可再生资源,所以在当今能源短缺的情形下,太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源,并受到了广泛的关注。

在太阳能电池所使用的基底材料中,N型硅比P型硅具有更长的少子寿命,N型硅的光衰减性能则更为稳定,因此,在N型硅片上进行电池制作形成的N型太阳能电池片的相比P型太阳能电池片优势较大。但是,现有的N型太阳能电池片的光电转换效率有待提高。

发明内容

有鉴于此,本发明提供了一种N型双面太阳能电池及其制作方法,其中,P型扩散层包括多个深入N型硅片的P型重掺杂区和覆盖N型硅片的正面的P型轻掺杂区,N型扩散层包括多个深入N型硅片的N型重掺杂区和覆盖N型硅片的背面的N型轻掺杂区,且形成与P型重掺杂区位置对应的正面栅线电极,和形成与N型重掺杂区位置对应的背面栅线电极,以制备形成具有选择性发射极的N型双面太阳能电池,进而提高N型双面太阳能电池的光电转换效率。

为实现上述目的,本发明提供的技术方案如下:

一种N型双面太阳能电池片的制作方法,包括:

提供一N型硅片;

在所述N型硅片的正面扩散一P型扩散层,所述P型扩散层包括多个深入所述N型硅片的P型重掺杂区和覆盖所述N型硅片的正面的P型轻掺杂区;

在所述N型硅片的背面扩散一N型扩散层,所述N型扩散层包括多个深入所述N型硅片的N型重掺杂区和覆盖所述N型硅片的背面的N型轻掺杂区;

在所述N型硅片的正面形成正面钝化减反射层,及在所述N型硅片的背面形成背面钝化减反射层;

在所述正面钝化减反射层背离所述N型硅片一侧形成多个正面栅线电极,及在所述背面钝化减反射层背离所述N型硅片一侧形成多个背面栅线电极,其中,所述正面栅线电极与所述P型重掺杂区位置一一对应,且所述背面栅线电极与所述N型重掺杂区位置一一对应。

可选的,在所述N型硅片的正面扩散一P型扩散层包括:

在所述N型硅片的正面印刷多个硼浆区,所述硼浆区与所述P型重掺杂区一一对应;

采用硼源对所述N型硅片的正面进行硼扩散处理,形成所述P型扩散层,其中,所述P型扩散层包括多个深入所述N型硅片的P型重掺杂区和覆盖所述N型硅片的正面的P型轻掺杂区。

可选的,采用硼源对所述N型硅片的正面进行硼扩散处理包括:

采用三溴化硼为硼源对所述N型硅片的正面进行硼扩散处理,其中,首先进行第一次硼扩散处理,其相应扩散时间为8min~15min,包括端点值,且扩散温度为890℃~910℃,包括端点值;而后进行第二次硼扩散处理,其相应扩散时间为20min~30min,包括端点值,且扩散温度为950℃~990℃,包括端点值。

可选的,在所述N型硅片的背面扩散一N型扩散层包括:

在所述N型硅片的背面印刷多个磷浆区,所述磷浆区与所述N型重掺杂区一一对应;

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