[发明专利]一种双向瞬态电压抑制二极管及制造方法有效
申请号: | 201711322420.1 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN108269859B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 殷丽;刘学明;吴立成;王传敏 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L25/07;H01L23/373;H01L21/329 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 徐辉 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双向 瞬态 电压 抑制 二极管 制造 方法 | ||
1.一种双向瞬态电压抑制二极管,其特征在于,管芯由第一单向二极管管芯、焊片和第二单向二极管管芯进行金属化处理后依次叠加,加热一段时间后降温获得,所述第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯结构相同;
所述第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯均包括硅片(1),硅片(1)两侧内到外依次为金属钛层(3,6)、金属镍层(5,7)和金属银层(4,8);
硅片(1)两侧内到外的金属钛层(3,6)、金属镍层(5,7)和金属银层(4,8)厚度分别为:
所述焊片包括位于中部的基底(11),基底(11)的两侧内到外依次为金属钛层(12,13),金属镍层(14,15),金属银层(16,17);
所述基底(11)采用金锗合金或银铜磷合金;
基底(11)的两侧内到外的金属钛层(12,13),金属镍层(14,15),金属银层(16,17)的厚度分别为:
还包括两个钨块(32,33)、两个焊接引线(34,35)和玻璃外罩(36),管芯(31)的两侧电极分别通过一个钨块(32,33)与一个焊接引线(34,35)连接;玻璃外罩(36)对管芯和两个钨块(32,33)密封封装;
加热一段时间的加热温度为800℃~860℃,保温时间为5~8min。
2.如权利要求1所述的双向瞬态电压抑制二极管,其特征在于,所述第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯的硅片经扩散形成PN结,对裸露的PN结进行钝化处理,形成钝化保护层(2)。
3.一种双向瞬态电压抑制二极管的制造方法,其特征在于包括如下步骤:
(1)获取两个相同的单向瞬态抑制二极管管芯,作为第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯,对两个单向瞬态抑制二极管管芯待焊接的面进行金属化处理;
(2)获取与两个单向瞬态抑制二极管管芯待焊接的面尺寸匹配的焊片,并对焊片表面进行金属化处理;
(3)将第一单向二极管管芯、焊片、第二单向二极管管芯依次叠加,然后加热一段时间后降温,完成管芯焊接;
(4)对管芯进行封装获得双向瞬态电压抑制二极管;管芯由第一单向二极管管芯、焊片和第二单向二极管进行金属化处理后依次叠加,加热一段时间后降温获得,所述第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯结构相同;
所述第一单向二极管管芯和第二单向二极管管芯均包括硅片(1),硅片(1)两侧内到外依次为金属钛层(3,6)、金属镍层(5,7)和金属银层(4,8);
硅片(1)两侧内到外的金属钛层(3,6)、金属镍层(5,7)和金属银层(4,8)厚度分别为:
所述焊片包括位于中部的基底(11),基底(11)的两侧内到外依次为金属钛层(12,13),金属镍层(14,15),金属银层(16,17);
所述基底(11)采用金锗合金或银铜磷合金;
基底(11)的两侧内到外的金属钛层(12,13),金属镍层(14,15),金属银层(16,17)的厚度分别为:
还包括两个钨块(32,33)、两个焊接引线(34,35)和玻璃外罩(36),管芯(31)的两侧电极分别通过一个钨块(32,33)与一个焊接引线(34,35)连接;玻璃外罩(36)对管芯和两个钨块(32,33)密封封装;
加热一段时间的加热温度为800℃~860℃,保温时间为5~8min。
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