[发明专利]一种适用于环形工件的沉积室和化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种适用于环形工件的沉积室，其特征在于，包括：

保温室主体；

设于所述保温室主体内的内保温层；

所述保温室主体与所述内保温层之间形成沉积空间；

用于向所述沉积空间供入工艺气体的沉积喷气部；

设于所述保温室主体与所述内保温层之间的加热结构；

所述沉积空间内具有用于放置环形工件的沉积位；所述沉积位设置于所述内保温层与所述加热结构之间或所述沉积位设置于所述加热结构与所述保温室主体之间。

2.根据权利要求1所述的适用于环形工件的沉积室，其特征在于，所述内保温层为筒体结构，所述内保温层底部与所述保温室主体紧密贴合，所述内保温层顶部与所述保温室主体之间形成有供工艺气体流通的空间。

3.根据权利要求1所述的适用于环形工件的沉积室，其特征在于，所述沉积喷气部设于所述保温室主体底部、且位于与所述沉积空间相对应的位置。

4.根据权利要求1所述的适用于环形工件的沉积室，其特征在于，所述沉积喷气部包括：沉积喷嘴，与所述沉积喷嘴连通的喷气管路，与所述喷气管路连通的喷气控制源。

5.根据权利要求4所述的适用于环形工件的沉积室，其特征在于，所述沉积喷嘴至少为两个，且设置于所述内保温层上。

6.根据权利要求4所述的适用于环形工件的沉积室，其特征在于，所述沉积喷嘴至少为两个，且设置于所述保温室主体上。

7.一种化学气相沉积系统，包括：炉体，动力气路系统，工艺气路系统，电控系统，尾气冷凝及焦油捕集器，水冷系统，真空系统，其特征在于，所述炉体内设有如权利要求1至6任意一项所述的适用于环形工件的沉积室。