[发明专利]一种指纹识别芯片封装结构及封装方法在审
申请号: | 201711209052.X | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN107749400A | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 刘卫东;王奎;李涛涛;刘宇环 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/48;G06K9/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 指纹识别 芯片 封装 结构 方法 | ||
1.一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,包括基板(8),基板(8)上固定有指纹识别芯片(1),指纹识别芯片(1)的顶面为第一表面(12),底面为第二表面(13),第一表面(12)上设置指纹感应区(2)和若干第一芯片焊盘(6),第一表面(12)上开设有凹槽(2),凹槽侧壁(4)、凹槽底部(5)和第一表面(12)设置有重分布层,凹槽底部(5)设置若干第二芯片焊盘(16),凹槽底部(5)固定有ASIC芯片(7),ASIC芯片(7)与指纹识别芯片(1)通过RDL电性连接,指纹识别芯片(1)与基板(8)电性连接,ASIC芯片(7)与基板(8)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,指纹识别芯片(1)通过第一金属线(14)与基板(8)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,ASIC芯片(7)通过第二金属线(15)与第二芯片焊盘(16)电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,ASIC芯片(7)上设置若干凸点(11),ASIC芯片(7)通过凸点(11)与第二芯片焊盘(16)电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,ASIC芯片(7)的上表面低于第一表面(12),第二金属线(15)的高度低于第一表面(12)的高度。
6.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,基板(8)上设置有塑封体(10),塑封体(10)包覆有指纹识别芯片(1)、第一金属线(14)、ASIC芯片(7)和第二金属线(15)。
7.根据权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构,其特征在于,指纹识别芯片(1)通过粘接剂(9)固定在基板(8)上。
8.权利要求1所述的一种指纹识别芯片封装结构的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一,准备整片晶圆,在晶圆上形成凹槽(3);
步骤二,在凹槽侧壁(4)、凹槽底部(5)和第一表面(12)的表面上覆盖重分布层;
步骤三,切割覆盖有重分布层的晶圆,形成指纹识别芯片(1);
步骤四,在基板(8)上通过粘接剂固定指纹识别芯片(1),引线键合,使第一芯片焊盘(6)通过第一金属线(14)与基板(8)电性连接;
步骤五,在凹槽底部(5)设置ASIC芯片(7),使ASIC芯片(7)与指纹识别芯片(1)电性连接;
步骤六,塑封后,完成指纹识别芯片的封装。
9.根据权利要求7所述的一种指纹识别芯片封装结构的封装方法,其特征在于,步骤五中,凹槽底部(5)设置若干第二芯片焊盘(16),ASIC芯片(7)通过第二金属线(15)与第二芯片焊盘(16)电性连接。
10.根据权利要求7所述的一种指纹识别芯片封装结构的封装方法,其特征在于,步骤五中,ASIC芯片(7)上设置有若干凸点(11),ASIC芯片(7)通过凸点(11)与第二芯片焊盘(16)电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造