[发明专利]一种显示基板及其制作方法和显示装置

权利要求书

1.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底基板上形成绝缘膜层，并形成贯穿所述绝缘膜层的过孔；

形成导电图形，所述导电图形包括至少覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的第一导电图形，所述第一导电图形采用柔性导电材料形成；所述柔性导电材料为柔性编织体复合材料，所述柔性编织体复合材料由柔性编织体材料和包裹所述柔性编织体材料的表面的导电颗粒形成；

形成至少覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的第一导电图形的步骤包括：

形成至少覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的催化剂层；

将所述显示基板置于反应室内，所述反应室内具有用于制备所述柔性编织体复合材料的混合原料，所述混合原料包括用于制备所述柔性编织体材料的第一原料和用于制备所述导电颗粒的第二原料，在一定温度范围内，所述第一原料发生分解，在所述催化剂层表面生长柔性编织体材料，在所述柔性编织体材料生长的过程中，所述第二原料发生分解，分解形成的导电颗粒在所述柔性编织体材料的表面沉积，从而生成柔性编织体复合材料，以形成所述第一导电图形；

所述形成绝缘膜层，并形成贯穿所述绝缘膜层的过孔的步骤包括：

形成绝缘膜层和覆盖所述绝缘膜层的光刻胶层；

采用半色调或灰色调掩膜板，对所述光刻胶层进行曝光并显影，形成光刻胶层全保留区、光刻胶层半保留区和光刻胶层去除区，其中，所述光刻胶层去除区对应过孔所在区域，所述光刻胶层半保留区至少对应所述过孔的边缘所在区域；

刻蚀所述光刻胶层去除区域的绝缘膜层，形成贯穿所述绝缘膜层的过孔；

去除所述光刻胶层半保留区的光刻胶层，露出所述过孔的边缘；

所述形成至少覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的催化剂层的步骤包括：

以所述光刻胶层全保留区的光刻胶层为掩膜，形成覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的催化剂层；

去除所述光刻胶层。

2.根据权利要求1所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述柔性编织体材料为碳纳米管、碳纤维或聚苯胺，所述导电颗粒为透明金属氧化物导电材料形成的导电颗粒。

3.根据权利要求1所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述导电图形还包括第二导电图形，所述第二导电图形和所述第一导电图形在所述衬底基板上的正投影区域不重叠。

4.根据权利要求3所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述第二导电图形采用柔性导电材料形成，或者，采用透明金属氧化物导电材料形成。

5.根据权利要求1-4任一项所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述绝缘膜层包括钝化层，所述导电图形为像素电极层图形或者公共电极层图形。

6.一种显示基板，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项所述的制作方法形成，所述显示基板包括：

衬底基板，以及设置于所述衬底基板上的绝缘膜层和导电图形，所述绝缘膜层上设置有贯穿所述绝缘膜层的过孔，所述导电图形包括至少覆盖所述过孔和所述过孔的边缘的第一导电图形，所述第一导电图形采用柔性导电材料形成，所述柔性导电材料为柔性编织体复合材料，所述柔性编织体复合材料由柔性编织体材料和包裹所述柔性编织体材料的表面的导电颗粒形成。

7.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求6所述的显示基板。