[发明专利]柔性覆铜板及其制造方法

权利要求书

1.一种柔性覆铜板FCCL，包括：

非导电聚合物膜，具有第一表面和在与第一表面相对的侧面上的第二表面；

第一连接涂层，在非导电聚合物膜的第一表面上；

第一铜层，在第一连接涂层上；

第二连接涂层，在非导电聚合物膜的第二表面上；以及

第二铜层，在第二连接涂层上，

其中，由下面式1定义的冲孔后机器方向MD收缩率R_MD为0至-40μm，以及由下面式2定义的冲孔后横向方向TD收缩率R_TD为0至20μm：

式1：R_MD＝(MD3+MD4)/2–(MD1+MD2)/2

式2：R_TD＝(TD3+TD4)/2–(TD1+TD2)/2

其中，MD1和MD2分别为在执行用于在从FCCL获得的长度×宽度为200mm×156mm的样品的两个侧边中的每个侧边中、沿MD、以3.75mm间距形成三十二个1mm×1mm方形孔的冲孔工艺之后立即单独地测量的第一侧边的第1孔和第32孔之间的距离、以及第二侧边的第1孔和第32孔之间的距离，

TD1和TD2分别为在冲孔工艺之后立即单独测量的第一侧边的第1孔和第二侧边的第1孔之间的距离、以及第一侧边的第32孔和第二侧边的第32孔之间的距离，

MD3和MD4分别为在执行用于从经冲孔样品除去第一连接涂层和第二连接涂层以及第一铜层和第二铜层的蚀刻工艺之后的24小时单独地测量的第一侧边的第1孔和第32孔之间的距离、以及第二侧边的第1孔和第32孔之间的距离，以及

TD3和TD4分别为在执行蚀刻工艺之后的24小时单独地测量的第一侧边的第1孔和第二侧边的第1孔之间的距离、以及第一侧边的第32孔和第二侧边的第32孔之间的距离。

2.如权利要求1所述的FCCL，其中，非导电聚合物膜包括聚酰亚胺，以及具有10至40μm的厚度。

3.如权利要求1所述的FCCL，其中，第一连接涂层和第二连接涂层均包括镍Ni、铬Cr、钼Mo、铌Nb、铁Fe或者它们中的两种或更多种的混合物，以及均具有150至的厚度。

4.如权利要求3所述的FCCL，其中，第一连接涂层和第二连接涂层均包括Ni和Cr，以及均具有5至25wt％的Cr含量。

5.如权利要求1所述的FCCL，其中，

第一铜层包括：

第一铜种层，在第一连接涂层上；以及

第一铜镀层，在第一铜种层上，

第二铜层包括：

第二铜种层，在第二连接涂层上；以及

第二铜镀层，在第二铜种层上，

第一铜种层和第二铜种层均具有500至的厚度，以及

第一铜镀层和第二铜镀层均具有1.8至2.4μm的厚度。

6.一种根据权利要求1所述的柔性覆铜板FCCL的制造方法，所述方法包括：

提供非导电聚合物膜；

通过溅射工艺分别在非导电聚合物膜的第一表面和第二表面上形成第一连接涂层和第二连接涂层；

通过溅射工艺分别在第一连接涂层和第二连接涂层上形成第一铜种层和第二铜种层；以及

通过连续电镀工艺分别在第一铜种层和第二铜种层上形成第一铜镀层和第二铜镀层，

其中，连续电镀工艺是在220至300N的张力下、被维持在33至37℃的温度的硫酸铜电镀液中执行。

7.如权利要求6所述的方法，其中，硫酸铜电镀液包括20至60g/L的铜和100至200g/L的硫酸。

8.如权利要求6所述的方法，其中，连续电镀工艺以1至5mpm的速率执行，直到第一铜镀层和第二铜镀层的厚度均变为1.8至2.4μm。

9.如权利要求6所述的方法，其中，在连续电镀工艺期间施加的电流密度为1至3.5ASD。

10.如权利要求6所述的方法，其中，连续电镀工艺为垂直连续电镀工艺。

11.如权利要求6所述的方法，在形成第一连接涂层和第二连接涂层之前还包括：

在真空中在50至300℃下使用红外线IR加热器从非导电聚合物膜除去水分和残余气体；以及

用等离子体处理非导电聚合物膜的第一表面和第二表面。