[发明专利]位移测量设备、机器人及机器人臂

权利要求书

1.一种位移测量设备，所述位移测量设备被构造为获得第一构件与第二构件之间在至少一个第一方向和在与所述至少一个第一方向不同的至少一个第二方向上的位移量，所述位移测量设备包括：

第一构件(600)，其包括第一支撑部(602)、第一附装部(601)、被构造为连接第一支撑部与第一附装部的第一弹性部(603)、以及被构造为检测第一附装部与第一支撑部之间在第一方向上的相对位移的第一传感器(801，901)；以及

第二构件(700)，其包括第二支撑部(702)、第二附装部(701)、被构造为连接第二支撑部与第二附装部的第二弹性部(703)、以及被构造为检测第二附装部与第二支撑部之间在第二方向上的相对位移的第二传感器(802，902)，

其中，第一突出部(721)和第二突出部(722)被配设在第二支撑部上，第一突出部(721)在朝向关于第二支撑部的与第二附装部相对的一侧的方向上突出，第二突出部(722)在朝向关于第二支撑部的第一附装部所在的一侧的方向上突出，并且

其中，第二传感器的一部分附装到第二突出部，且通过第一突出部与第一支撑部连接而连接第一构件和第二构件。

2.根据权利要求1所述的位移测量设备，其中，通过以将第二构件的一部分布置在第一构件内的方式将第一突出部与第一支撑部连接，而连接第一构件和第二构件。

3.根据权利要求1所述的位移测量设备，其中，所述第一传感器的一部分布置在关于第一突出部(721)的第一附装部(601)所在的一侧上和所述第二传感器的一部分布置在关于第二突出部(722)的与第二附装部(701)相对的一侧上。

4.根据权利要求1所述的位移测量设备，

其中，第一突出部和第一支撑部通过螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的位移测量设备，

其中，第一传感器包括附装到第一附装部与第一支撑部中的一者的第一检测构件和附装到第一附装部与第一支撑部中的另一者的第一被检构件，并且

其中，第二传感器包括附装到第二附装部与第二支撑部中的一者的第二检测构件和附装到第二附装部与第二支撑部中的另一者的第二被检构件。

6.根据权利要求5所述的位移测量设备，其中，第一被检构件或第二被检构件是磁通产生源，并且第一检测构件或第二检测构件是磁电转换元件。

7.根据权利要求5所述的位移测量设备，其中，第一被检构件或第二被检构件是线性编码器的标尺，并且第一检测构件或第二检测构件是线性编码器的头。

8.根据权利要求1所述的位移测量设备，

其中，第一弹性部包括在关于直线的圆周方向上相间隔地布置的并且沿所述直线延伸的多个柱状弹性体，所述直线从第一附装部向第二附装部延伸，以及

其中，第二弹性部包括在圆周方向上相间隔地布置的多个单元，并且

其中，所述多个单元各自包括在所述直线的方向上布置的并且在与所述直线垂直的方向上延伸的多个板状弹性体。

9.根据权利要求1所述的位移测量设备，所述位移测量设备还包括控制器，所述控制器被构造为基于从第一传感器获得的电信号和从第二传感器获得的电信号来获得力。

10.根据权利要求9所述的位移测量设备，其中，所述控制器基于从第一传感器获得的电信号，来获得在沿着与从第一附装部向第二附装部延伸的直线垂直的线的平移方向上的力和在关于从第一附装部向第二附装部延伸的直线的旋转方向上的力，并且

其中，所述控制器基于从第二传感器获得的电信号，来获得在沿着从第一附装部向第二附装部延伸的直线的平移方向上的力和在关于与从第一附装部向第二附装部延伸的直线垂直的线的旋转方向上的力。