[发明专利]一种用于硅片影像定位装置的中转机构

权利要求书

1.一种用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，包括：

固定框体(21)；以及

用于承载硅片载具的中转框体(22)，其设于固定框体(21)之上，

其中，中转框体(22)可往复地从固定框体(21)的前端滑移到末端，中转框体(22)的下方设有补光组件(24)，补光组件(24)的正上方设有用于硅片影像定位的相机。

2.如权利要求1所述的用于硅片影像定位装置的中转机构，其特征在于，补光组件(24)设于固定框体(21)的中段附近。

3.如权利要求1所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，固定框体(21)包括：

相对设置的左固定柱(212)与右固定柱(214)；以及

相对设置的前固定柱(211)与后固定柱(213)，

其中，前固定柱(211)、左固定柱(212)、后固定柱(213)、及右固定柱(214)依次环绕相接而成固定框体(21)。

4.如权利要求2所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，左固定柱(212)与右固定柱(214)平行且间隔设置以形成位于两者之间的中转通道，左固定柱(212)及右固定柱(214)上分别固接有左导轨(2121)及右导轨(2141)，中转框体(22)滑动地与左导轨(2121)及右导轨(2141)相配接。

5.如权利要求4所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，固定框体(21)内设有中转驱动组件(23)，中转框体(22)在中转驱动组件(23)的驱动下可沿左导轨(2121)与右导轨(2141)往复滑移。

6.如权利要求4所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，中转框体(22)包括：

相对设置的左中转柱(222)与右中转柱(224)；以及

相对设置的前中转柱(221)与后固定柱(223)，

其中，前中转柱(221)、左中转柱(222)、后中转柱(223)、右中转柱(224)依次环绕相接而成中转框体(22)，左中转柱(222)及右中转柱(224)分别滑动地与左导轨(2121)及右导轨(2141)相配接。

7.如权利要求6所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，中转框体(22)的前端及后端分别固接有若干个限位块(2211)及夹紧升降气缸(25)。

8.如权利要求7所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，夹紧升降气缸(25)可在水平面内相对前限位块(2211)作直线运动以及在竖直平面内作升降运动。

9.如权利要求2所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，当中转框体(22)位于固定框体(21)的前端时，补光组件(24)正好位于转框体(22)的末端。

10.如权利要求2所述的用于硅片影像定位装置的中转机构(2)，其特征在于，当中转框体(22)位于固定框体(21)的末端时，补光组件(24)正好位于转框体(22)的前端。