[发明专利]OLED显示基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201710631205.3 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN107302061B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 刘文渠;张锋;吕志军;党宁;董立文;张世政 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
本发明提供了一种OLED显示基板及其制作方法、显示装置,属于显示技术领域。其中,OLED显示基板的制作方法,包括在形成有阳极的基板上形成隔离柱的步骤和形成像素界定层的图形的步骤,所述形成隔离柱的步骤不迟于所述形成像素界定层的图形的步骤。可以在所述形成像素界定层的图形的步骤之前,形成所述隔离柱;或者通过一次构图工艺形成所述隔离柱和所述像素界定层的图形。本发明的技术方案能够避免有机感光材料残留在阳极上,提高OLED显示基板的良率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是指一种OLED显示基板及其制作方法、显示装置。
背景技术
随着科学技术的不断进步,视觉资讯在人们的生活中的地位越来越重要,因而承载视觉资讯信息的平板显示器件也在人们生活中占据了越来越重要的地位。OLED(OrganicLight-Emitting Diode,有机发光二极管)显示器作为新一代显示器,具有低能耗、对比度高等诸多优点,因而获得了越来越多厂商的关注。
现有OLED显示基板的制作工艺中,是先形成显示基板的阳极,再在形成有阳极的基板上形成像素界定层的图形,像素界定层的图形具有多个能够暴露出阳极的开口,在制作完像素界定层的图形后,还需要在像素界定层的图形上制作PS(隔离柱),在制作PS时需要在基板上涂覆有机感光材料,在经过曝光显影工艺后这些有机感光材料容易残留在阳极上,将会影响显示基板的性能,降低OLED显示基板的良率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种OLED显示基板及其制作方法、显示装置,能够避免有机感光材料残留在阳极上,提高OLED显示基板的良率。
为解决上述技术问题,本发明的实施例提供技术方案如下:
一方面,提供一种OLED显示基板的制作方法,包括在形成有阳极的基板上形成隔离柱的步骤和形成像素界定层的图形的步骤,所述形成隔离柱的步骤不迟于所述形成像素界定层的图形的步骤。
进一步地,在所述形成像素界定层的图形的步骤之前,形成所述隔离柱。
进一步地,所述制作方法具体包括:
在形成有阳极的基板上涂覆一层有机感光材料;
对所述有机感光材料进行曝光显影后形成所述隔离柱;
在形成有所述隔离柱的基板上涂覆一层绝缘材料,对所述绝缘材料进行构图形成所述像素界定层的图形。
进一步地,通过一次构图工艺形成所述隔离柱和所述像素界定层的图形。
进一步地,所述制作方法具体包括:
在形成有阳极的基板上涂覆一层绝缘层;
在所述绝缘层上涂覆一层光刻胶,曝光显影后形成光刻胶完全保留区域、光刻胶部分保留区域和光刻胶完全去除区域;
刻蚀掉光刻胶完全去除区域的绝缘层;
去除光刻胶部分保留区域的光刻胶,刻蚀掉光刻胶部分保留区域的部分厚度的绝缘层;
去除光刻胶完全保留区域的光刻胶,形成绝缘层的图形,所述绝缘层的图形包括第一部分和凸设于所述第一部分上的第二部分,所述第一部分形成为所述像素界定层的图形,所述第二部分形成为所述隔离柱。
进一步地,形成所述像素界定层的图形的步骤之后,所述制作方法还包括:
在形成有像素界定层的图形的基板上依次制备有机发光层和阴极。
本发明实施例还提供了一种OLED显示基板,采用如上所述的制作方法制作得到。
进一步地,所述OLED显示基板具体包括:
衬底基板;
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