[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

基板处理部，包括基板保持部及处理槽，所述基板保持部设置于所述处理槽内，其中，所述处理槽内基板处理液对所述基板保持部上的基板处理后形成残余液；

外槽，与所述处理槽相连通，以接收所述处理槽输出的液体；

连通部，所述连通部的第一端与所述外槽相连接，所述连通部的第二端与所述处理槽相连接，所述外槽经由所述连通部至所述处理槽形成一条循环回路；及

药液供给部，连通设置于所述连通部上，所述药液供给部内的液体与所述外槽输出的液体在所述连通部内混合形成混合液，并经由所述连通部输入至所述基板保持部的基板上；

其中，所述连通部包含具有所述第一端的回收管路与具有所述第二端的再利用管路，所述药液供给部连通至所述再利用管路。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还包括液处理部，连通于所述回收管路与所述再利用管路之间，并且所述药液供给部连通至所述再利用管路，所述连通部的所述再利用管路包括第一部分及第二部分，所述第一部分为所述再利用管路在所述药液供给部连通处与所述处理槽之间的部分，所述第二部分为所述再利用管路在所述药液供给部连通处至所述连通部连通有所述液处理部之间的部分，其中，所述第一部分较短于所述第二部分。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，连通所述连通部上的所述液处理部包含第一泵体。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，连通所述连通部上的所述液处理部包含加热装置，以对所述连通部的所述回收管路内的液体进行加热。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，连通所述连通部上的所述液处理部包含浓度探测装置，以对所述连通部的所述回收管路内的液体进行浓度探测。

6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，连通所述连通部上的所述液处理部包含过滤装置，以对所述连通部的所述回收管路内的液体进行过滤。

7.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述再利用管路的所述第一部分的长度为30～50cm，且所述第一部分为连通管路，直径为2.56～3.81cm。

8.根据权利要求1至7任一项所述的基板处理装置，其特征在于，所述连通部的第二端包括至少两个输出管嘴，且均设置于所述基板保持部上方。

9.根据权利要求1至7任一项所述的基板处理装置，其特征在于，所述药液供给部通过供给管路连通设置于所述连通部上，且所述供给管路上设置有第二泵体及控制阀。

10.一种基板处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)提供一如权利要求1中所述的基板处理装置；

2)向所述基板保持部上的基板表面提供基板处理液，其中，所述基板处理液对所述基板处理后形成残余液；

3)控制所述处理槽内的所述残余液输出至所述外槽内；

4)控制所述外槽内的残余液与所述药液供给部内的液体在所述连通部内混合形成混合液，并控制所述混合液经由所述连通部的所述再利用管路输入至所述基板上，以对基板进行处理。

11.根据权利要求10所述的基板处理方法，其特征在于，步骤3)中，控制所述处理槽内的所述残余液经由溢流输出至所述外槽内。

12.根据权利要求10所述的基板处理方法，其特征在于，步骤4)中，在所述外槽内的残余液与所述药液供给部内的液体混合之前，还包括对所述外槽内的残余液进行加热的步骤。

13.根据权利要求10～12中任一项所述的基板处理方法，其特征在于，回收的所述基板处理液为硫酸-过氧化氢混合物(SPM)药液，所述药液供给部内的补充液体为双氧水。