[发明专利]一种陶瓷基板定位校准装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，更进一步涉及一种陶瓷基板定位校准装置。

背景技术

陶瓷基板具备优良的导热性和气密性，被广泛应用于功率电子、电子封装、混合微电子与多芯片模块等领域。陶瓷基板的承载料盒的宽度略大于陶瓷基板的宽度，在使用晶圆盘机械臂搬运陶瓷基板的过程中，料盒里面随机存放的陶瓷基板在水平方向上会存在2—4mm的单边位置偏差，导致晶圆盘机械臂的抓取位置与陶瓷基板的相对位置不一致。如果不弥补这些偏差，在下一步加工工艺中，陶瓷基板的位置精度就无法得到保障。

现有技术中，只存在用于圆形晶圆的校准装置，这些装置一般使用传感器和负压吸附装置对晶圆进行校准，未有对陶瓷基板定位校准的装置，所以设计一种用于陶瓷基板的定位校准装置，是目前本领域的技术人员需要解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种陶瓷基板定位校准装置，用于对陶瓷基板准确定位，可以大大降低机械臂抓取的误差，具体方案如下：

一种陶瓷基板定位校准装置，包括：

定位安装板，呈水平设置，底面用于定位固定；

导向斜块，设置于所述定位安装板的顶面，每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个所述导向斜块；每个所述导向斜块上设置呈纵向倾斜的导向面，所述导向面朝向陶瓷基板；每两个相对设置的所述导向面之间的距离从上到下的方向渐缩，底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同。

可选地，所述导向斜块包括竖直板和水平板，所述导向面设置于所述竖直板上，所述水平板上开设螺栓孔，通过螺栓固定于所述定位安装板上。

可选地，所述水平板上设置腰形定位孔，所述腰形定位孔的长度方向与导向面的倾斜方向相同。

可选地，所述定位安装板上按陶瓷基板的尺寸设置多排螺栓孔，每个所述导向斜块对应一排，以调整相对设置的两个所述导向斜块之间的距离。

可选地，所述导向面与所述定位安装板顶面之间的夹角为60～80度。

可选地，所述所述导向斜块上设置台阶面，每个所述导向斜块上的所述台阶面水平高度相同，用于承托陶瓷基板；所述导向面靠近所述台阶面的部分呈竖直设置。

可选地，所述定位安装板的底面固定连接支撑杆的顶端，所述支撑杆的底端设置支撑底座，所述支撑底座具有水平分量，通过螺栓固定。

可选地，所述定位安装板与所述支撑杆通过螺栓固定，所述定位安装板的中心设置螺栓孔，以中心的螺栓孔为圆心、所述定位安装板上设置圆弧状的腰形孔，通过调整螺栓在所述腰形孔中的位置微调所述定位安装板的角度。

可选地，所述腰形孔圆弧的角度为45度。

本发明提供了一种陶瓷基板定位校准装置，包括定位安装板和导向斜块，定位安装板呈水平设置，底面用于定位固定，其顶面设置导向斜块，每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个导向斜块，用于对陶瓷基板每个侧边的位置进行导向和限位；导向斜块上设置呈纵向倾斜的导向面，导向面朝向陶瓷基板，用于对陶瓷基板进行导向，调整陶瓷基板的水平位置，每两个相对设置的导向面之间的距离从上到下的方向渐缩，当陶瓷基板由机械臂抓取并从上向下放置时，先到达导向斜块的上方，上方尺寸较大，可以容许较大的误差，当机械臂松开后，陶瓷基板在重力的作用下向下滑动，因导向面相对倾斜设置，最终落到最底部，底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同，所以陶瓷基板在定位安装板上的位置就被唯一确定，又因为定位安装板的底面固定，所以定位安装板与机械臂的位置就被唯一确定，此时机械手抓取陶瓷基板的精确度得以提高，与直接从包装盒中取出陶瓷基板的抓取方式相比，可以大大降低机械臂抓取的误差。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的陶瓷基板定位校准装置一种具体实施例的结构图；

图2为各个部分的爆炸结构轴测图；

图3为正视方向的爆炸结构图；

图4为导向斜块的结构图。

其中包括：

定位安装板1、腰形孔11、导向斜块2、竖直板21、水平板22、台阶面23、支撑杆3、支撑底座4。

具体实施方式

本发明的核心在于提供一种陶瓷基板定位校准装置，用于对陶瓷基板准确定位，可以大大降低机械臂抓取的误差。