[发明专利]一种陶瓷基板定位校准装置在审
申请号: | 201710591384.2 | 申请日: | 2017-07-19 |
公开(公告)号: | CN107195574A | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 贺云波;叶文涛;刘青山;陈新;高健;杨志军;张凯;汤晖;陈桪;陈云 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 定位 校准 装置 | ||
1.一种陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,包括:
定位安装板(1),呈水平设置,底面用于定位固定;
导向斜块(2),设置于所述定位安装板(1)的顶面,每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个所述导向斜块(2);每个所述导向斜块(2)上设置呈纵向倾斜的导向面,所述导向面朝向陶瓷基板;每两个相对设置的所述导向面之间的距离从上到下的方向渐缩,底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同。
2.根据权利要求1所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述导向斜块(2)包括竖直板(21)和水平板(22),所述导向面设置于所述竖直板(21)上,所述水平板(22)上开设螺栓孔,通过螺栓固定于所述定位安装板(1)上。
3.根据权利要求2所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述水平板(22)上设置腰形定位孔,所述腰形定位孔的长度方向与导向面的倾斜方向相同。
4.根据权利要求2所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述定位安装板(1)上按陶瓷基板的尺寸设置多排螺栓孔,每个所述导向斜块(2)对应一排,以调整相对设置的两个所述导向斜块之间的距离。
5.根据权利要求1所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述导向面与所述定位安装板(1)顶面之间的夹角为60~80度。
6.根据权利要求1所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述所述导向斜块(2)上设置台阶面(23),每个所述导向斜块(2)上的所述台阶面(23)水平高度相同,用于承托陶瓷基板;所述导向面靠近所述台阶面(23)的部分呈竖直设置。
7.根据权利要求1至6任一项所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述定位安装板(1)的底面固定连接支撑杆(3)的顶端,所述支撑杆(3)的底端设置支撑底座(4),所述支撑底座(4)具有水平分量,通过螺栓固定。
8.根据权利要求7所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述定位安装板(1)与所述支撑杆(3)通过螺栓固定,所述定位安装板(1)的中心设置螺栓孔,以中心的螺栓孔为圆心、所述定位安装板(1)上设置圆弧状的腰形孔(11),通过调整螺栓在所述腰形孔(11)中的位置微调所述定位安装板(1)的角度。
9.根据权利要求8所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述腰形孔(11)圆弧的角度为45度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学,未经广东工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710591384.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可降低酸耗的SCHMID刻蚀槽及其使用方法
- 下一篇:静电卡盘
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造