[发明专利]彩膜基板及其制作方法在审
申请号: | 201710302356.4 | 申请日: | 2017-05-02 |
公开(公告)号: | CN106950733A | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 莫碧胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/133 | 分类号: | G02F1/133;G02F1/1333;G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩膜基板 及其 制作方法 | ||
1.一种彩膜基板,其特征在于,包括:衬底基板(1)、设于所述衬底基板(1)上的太阳能发电层(2)、设于所述衬底基板(1)上且被所述太阳能发电层(2)间隔开的多个阵列排布的色阻块(3)、设于所述色阻块(3)和太阳能发电层(2)上的有机平坦层(5)、设于所述有机平坦层(5)上的公共电极(6)、以及设于所述公共电极(6)上的隔垫物(7);
所述太阳能发电层(2)包括:设于所述衬底基板(1)上的阳极(21)、设于所述阳极(21)上的半导体层(22)、及设于所述半导体层(22)上的阴极(23),所述有机平坦层(5)中形成有第一过孔(24)和第二过孔(25),所述第一过孔(24)暴露出所述阳极(21)的一部分,所述第二过孔(25)暴露出所述阴极(23)的一部分。
2.如权利要求1所述的彩膜基板,其特征在于,所述衬底基板(1)包括:显示区(11)以及包围所述显示区(11)的非显示区(12),所述第一过孔(24)和第二过孔(25)均位于所述非显示区(12)中。
3.如权利要求1所述的彩膜基板,其特征在于,所述阳极(21)的材料为透明导电氧化物,所述阴极(23)的材料为金属。
4.如权利要求1所述的彩膜基板,其特征在于,所述公共电极(6)的材料为ITO。
5.一种彩膜基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供一衬底基板(1),在所述衬底基板(1)上形成太阳能发电层(2),所述太阳能发电层(2)包括:设于所述衬底基板(1)上的阳极(21)、设于所述阳极(21)上的半导体层(22)、及设于所述半导体层(22)上的阴极(23),所述太阳能发电层(2)中形成有多个阵列排布的镂空区;
步骤S2、在衬底基板(1)上的所述太阳能发电层(2)的镂空区内形成多个阵列排布的色阻块(3);
步骤S3、在所述色阻块(3)和太阳能发电层(2)上依次形成有机平坦层(5)和公共电极(6);
所述有机平坦层(5)中形成有第一过孔(24)和第二过孔(25),所述第一过孔(24)暴露出所述阳极(21)的一部分,所述第二过孔(25)暴露出所述阴极(23)的一部分;
步骤S4、在所述公共电极(6)上形成隔垫物(17)。
6.如权利要求5所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括:
步骤S11、在所述衬底基板(1)上依次沉积阳极薄膜(21’)、半导体薄膜(22’)、以及阴极薄膜(23’),形成太阳能发电薄膜(2’);
步骤S12、通过一道半色调光罩或灰阶光罩图案化所述太阳能发电薄膜(2’),去除待形成色阻块的区域内的全部太阳能发电薄膜(2’),去除待形成阳极触点的区域内的半导体薄膜(22’)和阴极薄膜(23’),得到太阳能发电层(2)。
7.如权利要求5所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括:
步骤S11’、在所述衬底基板(1)上沉积并图案化阳极薄膜(21’),去除待形成色阻块的区域内的阳极薄膜(21’),得到阳极(21);
步骤S12’、在所述阳极(21)和衬底基板(1)上依次沉积半导体薄膜(22’)、及阴极薄膜(23’);
步骤S13’、通过一道光罩同时图案化所述半导体薄膜(22’)及阴极薄膜(23’),去除待形成色阻块的区域和待形成阳极触点的区域内的半导体薄膜(22’)及阴极薄膜(23’),得到太阳能发电层(2)。
8.如权利要求6或7所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,所述步骤3具体包括:
步骤S31、在所述色阻块(3)和太阳能发电层(2)上沉积并图案化有机平坦层薄膜,得到有机平坦层(5)、第一过孔(24)、及第二过孔(25),所述第一过孔(24)贯穿所述有机平坦层(5)暴露出所述阳极(21)的一部分,所述第二过孔(25)贯穿位于待阳极触点的区域内的有机平坦层(5)暴露出所述阴极(23)的一部分;
步骤S32、在所述有机平坦层(5)上沉积公共电极薄膜,图案化所述公共电极薄膜,去除所述第一过孔(24)、及第二过孔(25)上方的公共电极薄膜,得到公共电极(6)。
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