[发明专利]一种阵列基板、显示面板以及阵列基板的制作方法

权利要求书

1.一种阵列基板，包括：设置在衬底基板之上具有源极和漏极的源漏极层，设置在所述源漏极层之上的平坦层，以及设置在所述平坦层之上的像素电极，所述平坦层设置有导通所述像素电极和所述漏极的第一过孔，其特征在于，所述阵列基板在所述第一过孔的所述漏极和所述像素电极之间还设置有第一金属保护电极，所述第一金属保护电极在所述衬底基板上的正投影至少覆盖部分所述第一过孔暴露的所述漏极在所述衬底基板上的正投影，所述第一金属保护电极的还原性小于所述漏极的还原性。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括：与所述源漏极层同层设置的触控信号线、设置在所述平坦层与所述像素电极之间的触控电极、以及设置在所述触控电极与所述像素电极之间的钝化层，所述平坦层设置有导通所述触控电极与所述触控信号线的第二过孔，所述阵列基板在所述第二过孔的所述触控电极与所述触控信号线之间还设置有第二金属保护电极，所述第二金属保护电极在所述衬底基板上的正投影至少覆盖部分所述第二过孔暴露的所述触控信号线在所述衬底基板上的正投影，所述第二金属保护电极的还原性小于所述触控信号线的还原性。

3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述触控电极为触控感应电极，所述触控信号线为触控感应信号线；或者，所述触控电极为触控驱动电极，所述触控信号线为触控驱动信号线。

4.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述触控信号线与所述源极和漏极材质相同，所述第一金属保护电极和所述第二金属保护电极的材质相同。

5.如权利要求2述的阵列基板，其特征在于，所述源极、所述漏极以及所述触控信号线为钛/铝/钛，所述第一金属保护电极和所述第二金属保护电极为金属钼。

6.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述衬底基板与所述源漏极层之间还依次设置有有源层、设置在所述有源层之上的栅极绝缘层、设置在所述栅极绝缘层之上的栅极、以及设置在所述栅极之上的层间介质层，其中，所述有源层包括沟道区、位于所述沟道区一侧的源区以及位于在所述沟道区另一侧的漏区、所述源区与所述沟道区之间设置有第一轻掺杂漏区，所述漏区与所述沟道区之间还设置有第二轻掺杂漏区，所述源极通过第三过孔与所述源区连接，所述漏极通过第四过孔与所述漏区连接。

7.如权利要求1所述阵列基板，其特征在于，所述阵列基板在所述有源层与所述衬底基板之间还设置有缓冲层。

8.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的阵列基板。

9.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底基板之上形成具有源极和漏极的源漏极层；

在所述源漏极层之上形成具有暴露所述漏极的第一过孔的平坦层；

在所述第一过孔处形成与所述漏极连接的第一金属保护电极，所述第一金属保护电极在所述衬底基板上的正投影至少覆盖部分所述第一过孔暴露的所述漏极在所述衬底基板上的正投影，所述第一金属保护电极的还原性小于所述漏极的还原性；

形成像素电极，其中，所述像素电极通过第一过孔与所述第一金属保护电极连接。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括：

在形成所述源极和所述漏极的同时形成触控信号线；

在形成暴露所述漏极的第一过孔的同时形成暴露所述触控信号线的第二过孔；

在所述第一过孔处形成与所述漏极连接的第一金属保护电极的同时，在所述第二过孔处形成与所述触控信号线连接的第二金属保护电极，所述第二金属保护电极在所述衬底基板上的正投影至少覆盖部分所述触控信号线在所述第二过孔的暴露区域在所述衬底基板上的正投影，所述第二金属保护电极的还原性小于所述触控信号线的还原性；

在形成像素电极之前，所述制作方法还包括：

在所述平坦层之上形成触控电极，其中，所述触控电极通过第二过孔与所述第二金属保护电极连接；

在所述触控电极之上形成钝化层，并去除所述钝化层的与所述第一过孔对应区域的膜层。