[发明专利]挡板和喷头组件及相应的制造方法

权利要求书

1.一种挡板组件，其包括：

挡板，其具有外径并且被配置成从衬底处理系统的喷头组件的杆接收气体且将所述气体分配通过所述喷头组件的喷头；

环，其具有内径并且被配置为设置在所述喷头组件的环形通道中，其中所述内径大于所述挡板的外径；以及

多个支撑构件，其从所述挡板延伸到所述环，其中所述多个支撑构件被配置成放置在所述喷头组件的所述杆的衬圈中的凹口中，

其中所述环和所述多个支撑构件被配置成将所述挡板保持在所述喷头的顶板和底板之间的位置；以及

其中所述挡板包括多个孔，所述气体的部分穿过所述多个孔。

2.根据权利要求1所述的挡板组件，其中所述多个支撑构件中的每个在所述挡板处比在所述环处更厚。

3.根据权利要求1所述的挡板组件，其中所述多个支撑构件包括锥形底表面。

4.根据权利要求1所述的挡板组件，其中所述多个支撑构件中的每个包括：

顶表面，所述顶表面平行于所述杆的底表面或所述喷头的所述顶板的底表面延伸；以及

锥形底表面。

5.根据权利要求1所述的挡板组件，其中所述挡板的顶表面、所述多个支撑构件的顶表面和所述环的顶表面在同一平面中。

6.一种喷头组件，其包括：

根据权利要求1所述的挡板组件，以及

所述喷头，

其中，

所述挡板从所述喷头组件的所述杆接收所述气体且将所述气体分配通过所述喷头；

所述环被设置在所述喷头组件的所述环形通道中；以及

所述环和所述多个支撑构件将所述挡板保持在所述喷头的所述顶板和所述底板之间的位置。

7.根据权利要求6所述的喷头组件，其还包括所述杆，

其中所述顶板连接到所述杆并且包括所述环形通道。

8.根据权利要求7所述的喷头组件，其中：

所述杆包括凹口；以及

所述多个支撑构件中的每个支撑构件的一部分被放置在所述凹口中的相应的一个凹口中。

9.根据权利要求8所述的喷头组件，其中所述多个支撑构件的所述部分具有与所述凹口热过盈配合。

10.根据权利要求7所述的喷头组件，其中所述环被焊接到所述杆或所述顶板。

11.根据权利要求7所述的喷头组件，其中所述环被摩擦搅拌焊接到所述杆和所述顶板。

12.根据权利要求7所述的喷头组件，其中：

所述环被摩擦搅拌焊接到所述杆上；以及

所述杆被摩擦搅拌焊接到所述顶板上。

13.根据权利要求7所述的喷头组件，其中：

所述杆包括模具片；

所述环包括凹口；以及

所述模具片被至少部分地压制到所述环的所述凹口中。

14.根据权利要求7所述的喷头组件，其中所述环具有与所述环形通道的热过盈配合。

15.根据权利要求7所述的喷头组件，其中所述环邻接所述喷头的所述顶板。