[发明专利]一种制备图形化的柔性或刚性衬底的方法在审
| 申请号： | 201710191386.2 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106915962A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 程鑫;余波 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C04B35/634 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 巩克栋,侯桂丽 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 图形 柔性 刚性 衬底 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备图形化的柔性或刚性衬底的方法，包括如下步骤：
(1)将纳米压印胶涂布到衬底上；
(2)使用柔性或者刚性模板利用纳米压印技术对纳米压印胶进行图形化，然后脱模，并将压印后的纳米压印胶与衬底分离；
(3)将图形化后的纳米压印胶溶剂挥发后进行高温烧结。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述涂布通过旋涂、喷涂或者刮涂进行。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述衬底为Si、玻璃、石英、PET、PMMA或PC。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，在步骤(1)中的衬底和步骤(2)中的模板均为刚性的条件下，选择高于纳米压印胶玻璃转化温度的温度；在步骤(1)中的衬底为柔性和步骤(2)中的模板为刚性时，温度不高于衬底的玻璃转化温度；在步骤(1)中的衬底为柔性和步骤(2)中的模板为柔性时，温度应显著低于模板的玻璃转化温度；
优选地，图形化压力为1～50MPa。
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)中溶剂挥发的温度为室温。
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