[发明专利]一种感光性树脂组合物及其应用

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物由以下质量百分比的原料和溶剂组成：

碱溶性树脂：20-80％；

1,2-二叠氮醌化合物：2-15％；

聚乙烯树脂：10-40％；

所述碱溶性树脂为丙烯酸类共聚物，由以下三种物质共聚获得：不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或二者聚合物；含有羟基的烯类不饱和单体；烯烃类不饱和化合物；

所述1,2-二叠氮醌化合物为1,2-二叠氮醌化合物4-磺酸酯和1,2-二叠氮醌化合物5-磺酸酯中的至少一种；

所述聚乙烯树脂，含有以下IA)、IB)、IC)和ID)重复单元：

IA)重复单元：

其中R1是氢、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基，IA)的质量百分比为20-60％；

IB)重复单元：

其中R2是氢、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基，IB)的质量百分比为10-30％；

IC)重复单元：

其中IC)的质量百分比为20-40％；

ID)重复单元：

其中ID)的质量百分比为1-3％；

所述溶剂为烷醇类，乙二醇烷基醚乙酸酯类，乙二醇烷基醚丙酸酯类，乙二醇单烷基醚类，二乙二醇烷基醚类，丙二醇烷基醚类乙酸酯类，丙二醇烷基醚丙酸酯类，丙二醇单烷基醚类，二丙二醇烷基醚类，丁二醇单烷基醚类，二丁二醇烷基醚类中的至少一种。

2.如权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱溶性树脂换算成聚苯乙烯的重均分子量Mw为5000-30000。

3.一种半导体集成电路的绝缘平整化膜，其特征在于，所述绝缘平整化膜中含有如权利要求1所述的感光性树脂组合物。

4.一种半导体集成电路的绝缘平整化膜的图案形成方法，其特征在于，所述图案形成方法中使用了如权利要求1所述的感光性树脂组合物。