[发明专利]一种红外探测器有效
申请号: | 201710179513.7 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN108630667B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 陶飞;吕衍秋;张向峰;何英杰;丁佳欣;姚官生;曹先存;李墨;张亮;朱旭波 | 申请(专利权)人: | 中国空空导弹研究院 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L31/09;G01J5/08 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 陈浩 |
地址: | 471009 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 红外探测器 | ||
本发明涉及一种红外探测器。红外探测器包括基体以及短波红外光敏芯片、中波红外光敏芯片、芯片支架,中波红外光敏芯片设置于基体上,短波红外光敏芯片通过芯片支架设置于中波红外光敏芯片的上方,且短波红外光敏芯片的感光区域与中波红外光敏芯片的感光区域在上下方向上重叠,使用时,待检测光束经过短波红外光敏芯片后待检测光束中的短波红外波段被短波红外光敏芯片吸收并产生短波探测信号,此时待检测光束中的中波红外波段透过短波红外光敏芯片后照射到中波红外光敏芯片上并被吸收,产生中波探测信号,该探测器不需要设置双色滤光片,结构简单,而且待测光束中的短波红外波段被短波红外光敏芯片吸收,避免对中波红外光敏芯片的探测造成影响。
技术领域
本发明涉及一种红外探测器。
背景技术
红外探测器时红外技术的核心,它的发展水平直接制约着红外技术的应用。早期的红外探测器存在波长单一、量子效率低、工作温度低等问题,大大限制了红外探测器技术的应用方向。目前,红外探测器一般具有双色探测功能,现有的红外探测器包括短波红外光敏芯片和中波光敏芯片,这两个光敏芯片并列安装在探测器支架上,同时分别在这两个光敏芯片的上方设置双色滤光片,短波红外光敏芯片上方的双色滤光片将待检测光束中的中波红外波段过滤,使待检测光束中只有短波红外波段光束透过双色滤光片被短波红外光敏芯片探测,中波红外光敏芯片上方的双色滤光片将待检测光束中的短波红外波段过滤,使待检测光束中只有中波红外波段光束透过双色滤光片被中波红外光敏芯片探测,这种红外探测器需要设置两个双色滤光片,结构复杂。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单的红外探测器。
为实现上述目的,本发明的红外探测器采用如下技术方案:红外探测器,包括基体以及短波红外光敏芯片、中波红外光敏芯片,还包括芯片支架,所述中波红外光敏芯片设置于基体上,所述短波红外光敏芯片通过芯片支架设置于所述中波红外光敏芯片的上方,且所述短波红外光敏芯片的感光区域与中波红外光敏芯片的感光区域在上下方向上重叠。
所述芯片支架的材质为陶瓷。
所述短波红外光敏芯片的上侧面和/或下侧面上覆盖有红外增透膜。
所述中波红外光敏芯片的上表面上覆盖有红外滤光膜。
还包括通过窗口支架设置于短波红外光敏芯片上方的滤光片。
所述滤光片的材质为石英。
所述窗口支架为圆环形的陶瓷支架,所述短波红外光敏芯片和中波红外光敏芯片均处于所述陶瓷支架的内部。
所述短波红外光敏芯片的感光材质为InAs/GaSb二类超晶格,所述中波红外光敏芯片的感光材质为InAlSb。
所述短波红外光敏芯片和中波红外光敏芯片均为长方形片状结构,各芯片的两个电极设置在芯片的两端或者一端,两个芯片呈十字交叉上下间隔设置。
处于上方的短波红外光敏芯片的两个电极设置于短波红外光敏芯片的两端,处于下方的中波红外光敏芯片的两个电极设置于中波光敏芯片的同一端。
本发明的有益效果是:本发明的红外探测器包括基体以及短波红外光敏芯片、中波红外光敏芯片,还包括芯片支架,中波红外光敏芯片设置于基体上,短波红外光敏芯片通过芯片支架设置于中波红外光敏芯片的上方,且短波红外光敏芯片的感光区域与中波红外光敏芯片的感光区域在上下方向上重叠,使用时,待检测光束经过短波红外光敏芯片后待检测光束中的短波红外波段被短波红外光敏芯片吸收并产生短波探测信号,此时待检测光束中的中波红外波段透过短波红外光敏芯片后照射到中波红外光敏芯片上并被吸收,产生中波探测信号,该探测器不需要设置双色滤光片,结构简单,而且待测光束中的短波红外波段被短波红外光敏芯片吸收,避免对中波红外光敏芯片的探测造成影响。
进一步地,所述芯片支架的材质为陶瓷,具有良好的绝缘性能而且成本较低。
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