[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201710177901.1 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN107052988A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 浅野宏;玉井一诚;冈田安规 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;C09K3/14;C09G1/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨用组合物在维氏硬度1500Hv以上的作为硬脆材料的蓝宝石、碳化硅或者氮化镓的研磨中的用途，其特征在于，该研磨用组合物至少含有氧化铝磨粒和水，且具有8.5以上的pH，所述氧化铝磨粒具有12m2/g以下的比表面积。
2.根据权利要求1所述的用途，所述氧化铝磨粒具有5m2/g以上12m2/g以下的比表面积。
3.根据权利要求1或2所述的用途，其中，所述氧化铝磨粒具有0.1μm以上且20μm以下的平均二次粒径。
4.根据权利要求1或2所述的用途，所述氧化铝磨粒具有0.3μm以上且5μm以下的平均二次粒径。
5.根据权利要求1或2所述的用途，所述氧化铝磨粒具有0.43μm以上且5μm以下的平均二次粒径。
6.一种硬脆材料基板的制造方法，其特征在于，其包括通过权利要求1～5的任一项所述的用途研磨基板的工序，所述基板由维氏硬度1500Hv以上的作为硬脆材料的蓝宝石、碳化硅或者氮化镓制成。
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