[发明专利]大面积钙钛矿薄膜的制备设备

权利要求书

1.一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2）；

所述衬底加热器（2）的下方真空腔（1）内设置有第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4），所述第一蒸发壳（3）的上端呈开口状，所述第二蒸发壳（4）的上端面竖直设置有多根气管（42），所述第一蒸发壳（3）套嵌在第二蒸发壳（4）的上端，各气管（42）的上端从第一蒸发壳（3）的底面穿过后伸出第一蒸发壳（3）；所述第一蒸发器和衬底加热器（2）之间设置有可做开合运动的挡板（7）；

所述第一蒸发壳（3）的底部设置有用于对第一蒸发壳（3）底面进行加热的第一加热器（5），所述第一蒸发壳（3）连接有第一载气管道（31），所述第一载气管道（31）与外部的载气气源连通；

所述第二蒸发壳（4）的底部设置有用于对第二蒸发壳（4）底面进行加热的第二加热器（6），所述第二蒸发壳（4）连接有第二载气管道（41），所述第二载气管道（41）与外部的载气气源连通。

2.一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2）；

所述衬底加热器（2）的下方真空腔（1）内设置有第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4），所述第一蒸发壳（3）的上端呈开口状，所述第二蒸发壳（4）的上端面竖直设置有多根气管（42），所述第一蒸发壳（3）套嵌在第二蒸发壳（4）的上端，各气管（42）的上端从第一蒸发壳（3）的底面穿过后伸出第一蒸发壳（3）；所述第一蒸发器和衬底加热器（2）之间设置有可做开合运动的挡板（7）；

所述的第一蒸发壳（3）连接有第一载气管道（31），所述第一载气管道（31）与外部的载气气源连通，所述第一载气管道（31）的管路上设置有第一原料加热箱（13），所述第一原料加热箱（13）连接第一原料推送装置（15）；所述第二载气管道（41）的管路上设置有第二原料加热箱（14），所述第二原料加热箱（14）连接第二原料推送装置（16）；原料推送装置用于对原料箱进行原料添加。

3.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一载气管道（31）的管路上设置有第一气体预热器（11），所述第二载气管道（41）的管路上设置有第二气体预热器（12）。

4.根据权利要求2所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一原料加热箱（13）上游的第一载气管道（31）的管路上设置有第一气体预热器（11），所述第二原料加热箱（14）上游的第二载气管道（41）的管路上设置有第一气体预热器（11）；

所述真空腔（1）内还设置有伴热加热器（17），所述伴热加热器（17）包裹在第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4）的外部。

5.根据权利要求3所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，气体预热器包括金属加热体，所述金属加热体内开设有皮亚诺曲线结构气流通道。

6.根据权利要求4所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，气体预热器包括金属加热体，所述金属加热体内开设有皮亚诺曲线结构气流通道。

7.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一蒸发壳（3）上端开口上设置有喷孔板（9），所述喷孔板（9）上开设有若干个第一气孔（91）和第二气孔（92），所述的第一气孔（91）用于通过经气化的固体蒸发源1，所述的第二气孔（92）用于通过经气化的固体蒸发源2，各第一气孔（91）和第二气孔（92）交替间隔分布；所述第二蒸发壳（4）的各个气管（42）上端与第二气孔（92）连接。

8.根据权利要求2所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述第一蒸发壳（3）上端开口上设置有喷孔板（9），所述喷孔板（9）上开设有若干个第一气孔（91）和第二气孔（92），所述的第一气孔（91）用于通过经气化的固体蒸发源1，所述的第二气孔（92）用于通过经气化的固体蒸发源2，各第一气孔（91）和第二气孔（92）交替间隔分布；所述第二蒸发壳（4）的各个气管（42）上端与第二气孔（92）连接。

9.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述真空腔（1）的下端设置有真空泵组，所述真空泵组与真空腔（1）的内腔连通，所述真空泵组的进口设置有蝶阀；所述真空腔（1）内设置有检测衬底厚度的膜厚计（8）。

10.根据权利要求2所述的大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，所述真空腔（1）的下端设置有真空泵组，所述真空泵组与真空腔（1）的内腔连通，所述真空泵组的进口设置有蝶阀；所述真空腔（1）内设置有检测衬底厚度的膜厚计（8）。