[发明专利]一种硅半导体用粘结剂预分解剂其制备方法

权利要求书

1.一种硅半导体用粘结剂预分解剂，其特征在于，由以下原料制成： 润滑油 60-80份、丙酮溶液50-60份、DMSO6-8份、汽油8-10份、麻油6-8份、醋酸乙酯15-25份、酒石酸5-7份、乙酸钠10-12份、磨粉组合物8-10份。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂，其特征在于，各原料的优选分量为：润滑油70份、丙酮溶液55份、DMSO7份、汽油9份、麻油7份、醋酸乙酯20份、酒石酸6份、乙酸钠11份、磨粉组合物9份。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂，其特征在于：所述的磨粉组合物为氧化铝、氧化硅、氧化铁、氧化锆任意一种与滑石粉和石蜡按照1:2:10的质量比，复配制成。

4.制备上述权利要求1或2的方法，其特征在于，包括以下制备步骤： 1)将原料中除磨粉组合物以外的所有原料加入反应釜中，然后加热至60-65℃，持续搅拌均匀后，备用； 2)将上述步骤1的中原料冷却后出料放入搅拌罐中，将原料中所有磨粉组合物，加入其中，高速搅拌直至磨粉组合物全部混合于物料中，即可。