[发明专利]用于组合材料芯片的高通量电化学表征的装置及方法

权利要求书

1.一种用于组合材料芯片的高通量电化学表征的装置，该装置包括上位机、电流电位扫描仪和测量电极，其特征在于，所述测量电极为丝束电极，所述丝束电极作为辅助电极和参比电极。

2.根据权利要求1所述的装置，所述丝束电极为数目为100根的探针，直径为0.8mm；100根所述探针按1010的阵列规则排列，并且在每根探针的一端分别引出一根导线，各导线之间相互绝缘，用环氧树脂将探针密封固定，探头表面涂上一层琼脂。

3.根据权利要求2所述的装置，所述探针采用Ag/AgCl材料制成。

4.一种利用权利要求1-3任一项所述的装置的表征方法，其特征在于，该方具体包括以下步骤：

步骤1：首先选取薄膜样品并对薄膜样品进行预处理，以处理后薄膜样品作为工作电极，并对丝束电极作为辅助电极和参比电极，将饱含NaCl溶液的薄绒布放在所述薄膜样品和丝束电极之间，以NaCl溶液作为电解质，然后采用电流电位扫描仪中的丝束电极测量，快速得到丝束电极的每个探针采集的薄膜样品的不同位置的电极电位以及电流数据，将采集数据上传给上位机，上位机对数据进行处理从而比较薄膜样品表面不同区域的电位分布和电流分布；

步骤2：将丝束电极测量得到的电流电位分布图与薄膜样品的成分图相互比较，就可以观察耐蚀性能最好的区域在成分分布图中所对应的具体成分，从而得到耐蚀性能优异的薄膜成分配比。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述薄膜样品的预处理工艺为：

步骤1：将薄膜样品依次使用400、800、1200、5000目SiC砂纸打磨薄膜样品，然后抛光至表面呈镜面状态；依次用丙酮、无水酒精、去离子水在超声波中清洗10分钟去除表面油污和杂质，吹风机吹干试样表面，放入干燥皿中待用；

步骤2.镀膜：将清洗干燥后的薄膜样品放入超高真空镀膜机中，靶材选择铜靶和铬靶，采用共溅射的方法，溅射角度选择为45或0度，溅射功率均为300W，镀膜时间设置为2小时。