[发明专利]压接型半导体装置有效

专利信息
申请号: 201680025897.0 申请日: 2016-03-25
公开(公告)号: CN107533983B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 奥田聪志;古川彰彦;池田知弘 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 金春实
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 压接型 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种压接型半导体装置,其中,

具备压接型半导体元件和按压所述压接型半导体元件的按压部,

所述压接型半导体元件包括:

3端子型的第1半导体芯片,具有第1电极、第2电极以及第3电极;

2端子型的第2半导体芯片,具有第4电极和第5电极;

所述第1半导体芯片的所述第1电极上的第1中间电极;

所述第2半导体芯片的所述第4电极上的第2中间电极;

第1共同电极板以及第2共同电极板,夹持所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极;以及

筒体,机械连接于所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板,

所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板对所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极进行气密密封,

所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板一边被所述按压部向所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片按压,一边被电连接于所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片,

所述第2半导体芯片与所述第1半导体芯片电并联连接,

所述第1中间电极具有与所述第1半导体芯片的所述第1电极对置的第1表面以及与所述第1表面相反一侧的第2表面,

所述第2中间电极具有与所述第2半导体芯片的所述第4电极对置的第3表面以及与所述第3表面相反一侧的第4表面,

所述第2中间电极具有贯通所述第3表面与所述第4表面之间的1个以上的第2贯通孔,

所述第1共同电极板以及所述第2半导体芯片封闭所述1个以上的第2贯通孔,

所述1个以上的第2贯通孔与由所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板气密密封的空间流体分离。

2.根据权利要求1所述的压接型半导体装置,其中,

所述1个以上的第2贯通孔延伸的方向相对于所述第4电极的法线倾斜。

3.一种压接型半导体装置,其中,

具备压接型半导体元件和按压所述压接型半导体元件的按压部,

所述压接型半导体元件包括:

3端子型的第1半导体芯片,具有第1电极、第2电极以及第3电极;

2端子型的第2半导体芯片,具有第4电极和第5电极;

所述第1半导体芯片的所述第1电极上的第1中间电极;

所述第2半导体芯片的所述第4电极上的第2中间电极;

第1共同电极板以及第2共同电极板,夹持所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极;以及

筒体,机械连接于所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板,

所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板对所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极进行气密密封,

所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板一边被所述按压部向所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片按压,一边被电连接于所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片,

所述第2半导体芯片与所述第1半导体芯片电并联连接,

所述第1中间电极具有与所述第1半导体芯片的所述第1电极对置的第1表面以及与所述第1表面相反一侧的第2表面,

所述第2中间电极具有与所述第2半导体芯片的所述第4电极对置的第3表面以及与所述第3表面相反一侧的第4表面,

所述第2中间电极具有贯通所述第3表面与所述第4表面之间的1个以上的第2贯通孔,

所述1个以上的第2贯通孔与由所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板气密密封的空间流体分离,

所述压接型半导体元件在所述第2中间电极与所述第1共同电极板之间还包括具有导电性的第2连接部件,

所述第2连接部件以及所述第2半导体芯片封闭所述1个以上的第2贯通孔。

4.根据权利要求3所述的压接型半导体装置,其中,

所述1个以上的第2贯通孔延伸的方向相对于所述第4电极的法线倾斜。

5.根据权利要求3所述的压接型半导体装置,其中,

所述第2连接部件具有第2凸部,该第2凸部插入于所述1个以上的第2贯通孔中的至少1个第2贯通孔。

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