[发明专利]一种晶圆研磨系统以及晶圆研磨终点的控制方法在审
| 申请号： | 201611170706.8 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106475895A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 桂辉辉;周小红;闵源;杨俊铖;万先进 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005;B24B37/013;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 系统 以及 终点 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
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