[发明专利]一种标定映射尺寸的方法及装置

权利要求书

1.一种标定映射尺寸的方法，应用于划片机设备，其特征在于，包括：

在晶圆的横向坐标轴方向与参考横向坐标轴方向平行的情况下，采集所述晶圆的图像信息；

根据用户设定的模板确定所述图像信息中的晶粒数量，并根据各晶粒内的模板的位置计算各晶粒的中心点坐标信息；

基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的横向坐标轴方向的晶粒数量，以及预先确定的所述晶圆横向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的横向坐标轴的映射尺寸；

基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的纵向坐标轴方向的晶粒数量以及预先确定的所述晶圆纵向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的纵向坐标轴方向的映射尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述图像信息的横向坐标轴方向的模板数大于或者等于2，以及所述图像信息的纵向坐标轴方向的模板数大于或者等于2。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的横向坐标轴方向的晶粒数量，以及预先确定的所述晶圆横向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的横向坐标轴方向的映射尺寸的步骤，包括：

提取所述各晶粒的中心点坐标信息中最小横坐标值和最大横坐标值；

计算所述最大横坐标值与最小横坐标值的差值；

计算所述差值，与所述图像信息中的横向坐标轴方向的晶粒数量减1得到的数值的商值；

将所述预先确定的所述晶圆的横向坐标轴方向的分度值与所述商值的比值作为所述划片机设备的坐标横向坐标轴方向的映射尺寸。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的纵向坐标轴方向的晶粒数量，以及预先确定的所述晶圆纵向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的纵向坐标轴方向的映射尺寸的步骤，包括：

提取所述各晶粒的中心点坐标信息中最小纵坐标值和最大纵坐标值；

计算所述最大纵坐标值与最小纵坐标值的差值；

计算所述差值，与所述图像信息中的纵向坐标轴方向的晶粒数量减1得到的数值的商值；

将所述预先确定的所述晶圆的纵向坐标轴方向的分度值与所述商值的比值作为所述划片机设备的坐标纵向坐标轴方向的映射尺寸。

5.一种标定映射尺寸的装置，应用划片机设备，其特征在于，包括：

采集模块，用于在晶圆的横向坐标轴方向与参考横向坐标轴方向平行的情况下，采集所述晶圆的图像信息；

第一确定模块，用于根据用户设定的模板确定所述图像信息中的晶粒数量，并根据各晶粒内的模板的位置计算各晶粒的中心点坐标信息；

第二确定模块，包括：

第一确定单元，用于基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的横向坐标轴方向的晶粒数量，以及预先确定的所述晶圆横向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的横向坐标轴的映射尺寸；

第二确定单元，用于基于所述各晶粒的中心点坐标信息、所述图像信息中的纵向坐标轴方向的晶粒数量以及预先确定的所述晶圆纵向坐标轴方向的分度值确定所述划片机设备的纵向坐标轴方向的映射尺寸。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述图像信息的横向坐标轴方向的模板数大于或者等于2，以及所述图像信息的纵向坐标轴方向的模板数大于或者等于2。

7.根据权利要求5或者6所述的装置，其特征在于，所述第一确定单元包括：

第一提取子单元，用于提取所述各晶粒的中心点坐标信息中最小横坐标值和最大横坐标值；

第一计算子单元，用于计算所述最大横坐标值与最小横坐标值的差值；

第二子算子单元，用于计算所述差值，与所述图像信息中的横向坐标轴方向的晶粒数量减1得到的数值的商值；

第三计算子单元，用于将所述预先确定的所述晶圆的横向坐标轴方向的分度值与所述商值的比值作为所述划片机设备的坐标横向坐标轴方向的映射尺寸。

8.根据权利要求5或者6所述的装置，其特征在于，所述第二确定单元包括：

第二提取子单元，用于提取所述各晶粒的中心点坐标信息中最小纵坐标值和最大纵坐标值；

第四计算子单元，用于计算所述最大纵坐标值与最小纵坐标值的差值；

第五计算子单元，计算所述差值，与所述图像信息中的纵向坐标轴方向的晶粒数量减1得到的数值的商值；

第六计算子单元，将所述预先确定的所述晶圆的纵向坐标轴方向的分度值与所述商值的比值作为所述划片机设备的坐标纵向坐标轴方向的映射尺寸。