[发明专利]一种制备有序银纳米球阵列的方法有效

专利信息
申请号: 201610658664.6 申请日: 2016-08-11
公开(公告)号: CN106282931B 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 张璋;曾志强;苏绍强;高兴森 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/58;C23C14/16;C25D11/12;B82Y40/00;G01N21/65
代理公司: 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 代理人: 任漱晨
地址: 510631 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 球阵列 银纳米 制备 阵列模板 退火 尺寸分布 高度有序 模板转移 制备工艺 纳米球 热蒸镀 基底 可调 银膜
【说明书】:

发明实施例提供一种制备有序银纳米球阵列的方法,所述方法包括:制备有序铝纳米碗OAB阵列模板样品;在所述OAB阵列模板样品的表面热蒸镀10nm厚的银膜;将所述OAB阵列模板样品在500℃真空下退火1h,获得有序银纳米球阵列结构。上述技术方案具有如下有益效果:(1)所制备的银纳米球阵列高度有序。(2)尺寸分布小而且结构可调。(3)无需将OAB模板转移到其他基底,因此可大面积制备有序的Ag纳米球阵列。(4)所述有序银纳米球阵列结构具有超高密度(>1010cm‑1)。(5)制备工艺简单。

技术领域

本发明涉及纳米材料制备技术领域,尤其涉及一种制备有序银纳米球阵列的方法。

背景技术

拉曼散射光谱由于其对分子和化学键振动峰的特异性,成为一个功能强大的分子检测技术。表面增强拉曼散射(SERS,Surface Enhanced Raman Scattering)因其具有灵敏度高,快速检测,可以获得常规拉曼光谱所不易得到的结构信息,被广泛应用于表面研究、生物表面科学,食品安全等领域。SERS效应主要存在于金属纳米结构间的间隙,即“热点”(hot spot),由于金属表面等离子共振效应,“热点”附近的电磁场得到极大的增强。最近的研究表明“热点”对SERS信号有很大的增强,对待检测物质有很高的灵敏度,甚至可以实现单分子检测。

由于贵金属纳米结构在光电,传感器和催化应用等领域具有独特的性质,因此被广泛研究。尤其,被排成有序的周期性阵列,它们的一些性能将大幅度提高。例如,通过自下而上的方法,贵金属纳米粒子自组装可以形成热点。热点的随机分布通常会导致SERS信号不均匀。有序的周期性贵金属阵列(如金,银,铂)赋予了基底具有很好的SERS均匀性。为了获得具有良好的重现性和高灵敏度的SERS基底,制备小尺寸(<100nm),高密度有序的热点阵列是关键。

目前,材料学家们投入了大量的时间精力去制备有序周期性纳米阵列。如利用电子束光刻(EBL),聚焦离子束刻蚀(FIB)和纳米压印等技术精确控制纳米图案。然而,专业化的刻蚀设备非常昂贵,并且制备过程复杂,时间周期长。为了克服这些限制,科学家们开发了一些纳米技术来代替这些昂贵的刻蚀设备,如相转移刻蚀,纳米球刻蚀和非刻蚀性自组装纳米模板等。在这些非刻蚀技术当中,利用聚苯乙烯(PS)小球,喷墨打印和阳极氧化铝(AAO)模板能够精确控制的样品表面形貌,而且工艺简单,成本低。S.Yang等人利用PS小球作为模板,结合退润湿的技术,成功实现了有序的金属(金,银,铜,钴,镍)纳米球阵列的制备。此外,他们开发出一种更为简单的方法,利用喷墨打印直接把金纳米颗粒阵列写在基底上,成功实现了有序金纳米颗粒阵列的制备。但是,通过喷墨打印或PS小球技术,制备间隙在100纳米以内的有序贵金属纳米结构阵列仍然是一个挑战。为了实现间隙在100nm的以内有序贵金属纳米结构阵列的制备,Y.Lei等人利用超薄AAO模板实现了有序的银纳米颗粒阵列的制备,间距可调,最小间距可以控制在10nm以下。然而,AAO模板必须转移到其它基底,因此很难实现大面积制备。

发明内容

本发明实施例提供一种制备有序银纳米球阵列的方法,以实现大面积制备间隙在100纳米以内的有序贵金属纳米结构阵列。

为了达到上述技术目的,本发明实施例提供了一种制备有序银纳米球阵列的方法,所述方法包括:

制备有序铝纳米碗OAB阵列模板样品;

在所述OAB阵列模板样品的表面热蒸镀10nm厚的银膜;

将所述OAB阵列模板样品在500℃真空下退火1h,获得有序银纳米球阵列结构。

上述技术方案具有如下有益效果:(1)所制备的银纳米球阵列高度有序。(2)尺寸分布小而且结构可调。(3)无需将OAB模板转移到其他基底,因此可大面积制备有序的Ag纳米球阵列。(4)所述有序银纳米球阵列结构具有超高密度(>1010cm-1)。(5)制备工艺简单。

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